[发明专利]具有提高的高温抗氧化性的锆合金包壳管及其制备方法有效
| 申请号： | 201880073947.1 | 申请日： | 2018-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN111344807B | 公开（公告）日： | 2023-08-01 |
| 发明（设计）人： | 朴正桓;金铉佶;郑养一;朴东俊;崔秉权;李荣镐;梁宰豪 | 申请（专利权）人： | 韩国原子力研究院 |
| 主分类号： | G21C3/07 | 分类号： | G21C3/07;C22C16/00;C23C14/16;C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 陈万青;李雪 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 提高 高温 氧化 合金 包壳管 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种具有提高的高温抗氧化性的锆合金包壳管的制备方法，其特征在于，包括：
步骤（a），制备包含Cr和Al的靶；以及
步骤（b），通过对于上述靶施加电流和偏置电压的电弧离子镀在锆合金包壳管上沉积Cr-Al薄膜，
其中，上述靶中Al的含量为7重量百分比至23重量百分比，
其中，在上述步骤（b）中施加的电流为30A至120A，偏置电压为120V至400V，
其中，在上述步骤（b）中在沉积时的工作压力保持在5mTorr至50mTorr，并且
其中，在上述步骤（b）中沉积的薄膜的算术平均粗糙度为5μm以下，
其中，在上述步骤（b）中在200℃至300℃的温度下进行沉积，
其中，在上述步骤（b）中以2μm/h至15μm/h的速度进行沉积。
2.根据权利要求1所述的具有提高的高温抗氧化性的锆合金包壳管的制备方法，其特征在于，在上述步骤（b）中，当将沉积的薄膜在1200℃和蒸汽气氛下氧化2000秒时，重量增加量为1mg/dm2至3,000mg/dm2。
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