[发明专利]具有转动关节编码器的晶片搬运机械手

权利要求书

1.一种晶片搬运系统，其包含：

机械手臂，其包括：

基座；

第一可移动连接件，所述第一可移动连接件的第一端部经由第一转动关节能旋转地连接至所述基座；

第二可移动连接件，所述第二可移动连接件的第一端部经由第二转动关节能旋转地连接至所述第一可移动连接件的第二端部；

第一旋转驱动传送机构，其包括第一带轮、第二带轮以及横跨于所述第一带轮和所述第二带轮之间的一或更多个第一传动带，其中：

所述第二带轮与所述第二可移动连接件固定地连接，以及

所述第一旋转驱动传送机构被构造成使得：所述第一带轮相对所述第一可移动连接件的旋转造成所述第二带轮和所述第二可移动连接件相对于所述第一可移动连接件绕着所述第二转动关节的中心轴线旋转；

第一马达，所述第一马达坐落于所述基座中，并具有连接至所述第一可移动连接件的转动输出且构造成驱动所述第一可移动连接件；

第二马达，所述第二马达坐落在所述基座中，并具有连接至所述第一带轮的转动输出且构造成驱动所述第一带轮；

第一转动编码器，其具有与所述基座固定地连接的第一部分以及与所述第一可移动连接件固定地连接的第二部分；以及

第二转动编码器，其具有与所述第一可移动连接件固定地连接的第一部分以及与所述第二可移动连接件固定地连接的第二部分。

2.根据权利要求1所述的晶片搬运系统，其中所述第一转动编码器与所述第二转动编码器各自具有选自由下列项所组成的群组的分辨率：30位或更多和33微度或更多。

3.根据权利要求1所述的晶片搬运系统，其中：

所述第一转动关节包括在所述基座与所述第一可移动连接件的延伸进入所述基座的部分之间的第一铁磁流体密封件，且

所述第二转动关节包括在所述第一可移动连接件和所述第二可移动连接件的延伸进入所述第一可移动连接件的部分之间的第二铁磁流体密封件。

4.根据权利要求1所述的晶片搬运系统，其中所述机械手臂还包括：

第三可移动连接件，所述第三可移动连接件的第一端部经由第三转动关节能旋转地连接至所述第二可移动连接件的第二端部；

第二旋转驱动传送机构，其包括第三带轮、第四带轮以及横跨于所述第三带轮与所述第四带轮之间的一或更多个第二传动带；以及

第三转动编码器，其具有与所述第二可移动连接件固定地连接的第一部分以及与所述第三可移动连接件固定地连接的第二部分，其中：

所述第三带轮与所述第一可移动连接件固定地连接，

所述第四带轮与所述第三可移动连接件固定地连接，且

所述第二旋转驱动传送机构被构造成使得：所述第三带轮相对于所述第二可移动连接件的旋转造成所述第四带轮与所述第三可移动连接件相对于所述第二可移动连接件绕着所述第三转动关节的中心轴线旋转。

5.根据权利要求1所述的晶片搬运系统，其中所述机械手臂还包括：

第三马达；

第三可移动连接件，所述第三可移动连接件的第一端部经由第三转动关节能旋转地连接至所述第二可移动连接件的第二端部；

第二旋转驱动传送机构，其包括第三带轮、第四带轮以及横跨于所述第三带轮与所述第四带轮之间的一或更多个第二传动带；以及

第三转动编码器，其具有与所述第二可移动连接件固定地连接的第一部分以及与所述第三可移动连接件固定地连接的第二部分，其中：

所述第三马达被构造成导致所述第三带轮绕着所述第二转动关节的旋转轴旋转，

所述第四带轮与所述第三可移动连接件固定地连接，且

所述第二旋转驱动传送机构被构造成使得：所述第三带轮绕着所述第二转动关节的中心轴线相对于第二可移动连接件的旋转造成所述第四带轮和所述第三可移动连接件相对于所述第二可移动连接件绕着所述第三转动关节的中心轴线旋转。