[发明专利]干涉成像设备及其应用

权利要求书

1.一种干涉成像设备，包括：

照明模块，所述照明模块被配置用于向光学干涉模块提供源光，所述光学干涉模块将所述源光转换成线光并处理光信号，并使所述线光具有3至100的长宽比；干涉物镜模块，所述干涉物镜模块操纵来自所述光学干涉模块的光并处理从样品生成的光信号；二维相机，所述二维相机被配置用于接收来自所述样品的背向散射干涉信号；以及数据处理模块，所述数据处理模块将所述干涉信号处理成图像。

2.根据权利要求1所述的设备，其中所述照明模块包括放大自发辐射光源、超发光二极管、发光二极管、宽带超连续谱光源、锁模激光器、可调谐激光器、傅里叶域锁模光源、光学参量振荡器、卤素灯、Ce³⁺:YAG晶体光纤、Ti³⁺:Al₂O₃晶体光纤或Cr⁴⁺:YAG晶体光纤。

3.根据权利要求2所述的设备，其中所述照明模块包括Ce³⁺:YAG晶体光纤、Ti³⁺:Al₂O₃晶体光纤或Cr⁴⁺:YAG晶体光纤。

4.根据权利要求1所述的设备，其中所述光学干涉模块被配置用于生成由所述照明模块中的光源投射的线光。

5.根据权利要求4所述的设备，其中所述光学干涉模块包括畸变透镜或光纤束线阵，以将来自所述光源的光转换成线光。

6.根据权利要求5所述的设备，所述线光具有5至20的长宽比。

7.根据权利要求1所述的设备，其中所述干涉物镜模块包括物镜和干涉装置手段，所述干涉装置手段被配置用于将线光处理到所述样品并从其接收背向散射信号以生成干涉信号。

8.根据权利要求7所述的设备，其中所述干涉物镜模块是Mirau型干涉物镜模块、迈克尔逊型干涉模块，或者马赫-曾德尔干涉物镜模块。

9.根据权利要求7所述的设备，其中所述物镜是具有浸没溶液的浸没式物镜，该浸没溶液具有1.2至1.8范围内的折射率。

10.根据权利要求1所述的设备，其中所述设备还包括成像引导模块，所述成像引导模块包括相机镜头和用于成像引导的二维相机。

11.根据权利要求10所述的设备，其中所述成像引导模块和所述干涉物镜模块共享同一光通道或路径，从而提供重叠视场。

12.根据权利要求11所述的设备，其中所述干涉物镜模块还包含光源，以便将光投射到所述样品上。

13.根据权利要求7所述的设备，其中所述干涉装置手段包括涂覆有反射镜的第一玻璃板、第二玻璃板和第三玻璃板，其中涂覆反射镜以生成参考臂并与所述样品返回的散射光产生干涉。

14.根据权利要求13所述的设备，其中所述反射镜被配置成具有平行于所述线光的形状。

15.根据权利要求14所述的设备，所述第一玻璃板上的所述反射镜具有细线形状，该细线形状具有1至5000、4至1000、8至250或10至100的长宽比。

16.根据权利要求15所述的设备，其中所述第一玻璃板还包括在所述第一玻璃板的相对侧处于与所述反射镜相对应的位置的黑斑。

17.根据权利要求16所述的设备，其中所述黑斑是吸光性的，以便阻挡杂散光。