[发明专利]利用两件式多边形扫描仪的增材制造在审

专利信息
申请号: 201880075894.7 申请日: 2018-11-21
公开(公告)号: CN111417505A 公开(公告)日: 2020-07-14
发明(设计)人: 保罗·J·斯蒂芬斯;阿耶·M·乔希;杰弗里·L·富兰克林;林志红 申请(专利权)人: 应用材料公司
主分类号: B29C64/386 分类号: B29C64/386;B29C64/205;B33Y30/00;B33Y50/00
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 徐金国;赵静
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 利用 两件式 多边形 扫描仪 制造
【权利要求书】:

1.一种增材制造设备,包含:

平台;

分配器,所述分配器经配置以将进料的多个连续层输送至所述平台;

光源,所述光源经配置以产生光束;

第一多边形镜扫描仪,所述第一多边形镜扫描仪用以接收来自所述光源的所述光束并且反射所述光束而朝向所述平台行进;及

第二多边形镜扫描仪,所述第二多边形镜扫描仪用以接收来自所述光源的所述光束并且反射所述光束而朝向所述平台行进;

其中所述光源经配置以交替地将所述光束引导至所述第一多边形镜扫描仪和所述第二多边形镜扫描仪,以使得在所述第二多边形镜扫描仪的死区时间期间,所述光束被引导至所述第一多边形镜扫描仪,以及在所述第一多边形镜扫描仪的死区时间期间,所述光束被引导至所述第二多边形镜扫描仪。

2.如权利要求1所述的设备,其中所述第一多边形镜扫描仪的旋转轴平行于所述第二多边形镜扫描仪的旋转轴。

3.如权利要求2所述的设备,其中所述第一多边形镜扫描仪和所述第二多边形镜扫描仪共享共同的旋转轴。

4.如权利要求3所述的设备,其中所述第一多边形镜扫描仪和所述第二多边形镜扫描器具有相同的数目的刻面。

5.如权利要求4所述的设备,其中所述第一多边形镜扫描仪的刻面相对于所述第二多边形镜扫描仪的刻面成角度偏移。

6.如权利要求5所述的设备,其中所述第一多边形镜扫描仪和所述第二多边形镜扫描仪彼此成角度地偏移,以使得所述第一多边形镜扫描仪的边缘与所述第二多边形镜扫描仪的面的近似中心成直线。

7.如权利要求3所述的设备,其中所述第一多边形镜扫描器具有第一多个刻面,所述第一多个刻面具有相对于所述共同的旋转轴的第一倾斜度,以及所述第二多边形镜扫描器具有第二多个刻面,所述第二多个刻面具有相对于所述共同的旋转轴的不同的第二倾斜度。

8.如权利要求7所述的设备,其中所述第一倾斜度具有与所述第二倾斜度相等的大小和相反的方向。

9.如权利要求1所述的设备,其中所述第二多边形镜扫描仪与所述第一多边形镜扫描仪相邻。

10.如权利要求9所述的设备,其中所述第二多边形镜扫描仪与所述第一多边形镜扫描仪邻接。

11.如权利要求1所述的设备,所述设备进一步包含:转向镜,所述转向镜经配置以将来自所述光源的所述光束交替地引导至所述第一多边形镜扫描仪和所述第二多边形镜扫描仪。

12.如权利要求1所述的设备,其中所述第一多边形镜扫描仪和所述第二多边形镜扫描仪经配置以反射所述光束而朝向在进料的最外层上的相同的扫描路径行进。

13.如权利要求12所述的设备,其中所述扫描路径垂直于所述第一多边形镜扫描仪的旋转轴和所述第二多边形镜扫描仪的旋转轴。

14.如权利要求1所述的设备,其中所述第一多边形镜扫描仪和所述第二多边形镜扫描仪经配置以彼此一致地旋转。

15.一种增材制造方法,包含以下步骤:

利用光源来产生光束;

在以下之间交替:

将所述光束引导至第一多边形镜扫描仪并且利用所述第一多边形镜扫描仪来扫描所述光束而跨越扫描路径,所述扫描路径跨越在平台上的进料的顶层,及

将光束引导至第二多边形镜扫描仪并且利用所述第二多边形镜扫描仪来扫描所述光束而跨越所述扫描路径,所述扫描路径跨越在平台上的进料的顶层;

其中所述光束在所述第二多边形镜扫描仪的死区时间期间被引导至所述第一多边形镜扫描仪并且所述光束在所述第一多边形镜扫描仪的死区时间期间被引导至所述第二多边形镜扫描仪。

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