[发明专利]灯的点亮方法

说明书

本发明提供一种灯的点亮方法，不仅能降低对曝光对象物的曝光没有帮助的浪费的电力，而且能实现灯的长寿命化。在将曝光对象物(X)进行曝光的曝光期间，对灯供给曝光用电力，在曝光期间以外的期间，对灯供给低于曝光用电力且能维持灯的点亮状态的待机电力。

技术领域

本发明例如涉及一种灯的点亮方法，该灯发出用于印刷布线基板等的曝光的光。

背景技术

现有技术中，为了将部件安装于电子设备，使用了在树脂、玻璃环氧材料的基板上以铜等金属形成有布线图案而成的印刷布线基板。这些印刷布线基板上的布线图案的形成采用了光刻技术。光刻是通过如下方式进行的，即，在整面形成有作为布线的金属层的基板整面上，涂敷作为感光性的药剂的光致抗蚀剂，并使来自曝光装置的照射光经过与布线图案相同的光掩模而照射其上，从而进行光刻。

在光致抗蚀剂中，存在光致抗蚀剂的溶解性因照射光而下降的负型光致抗蚀剂、以及反之光致抗蚀剂的溶解性因照射光而增大的正型光致抗蚀剂。若将溶解性因照射光而相对增大的光致抗蚀剂部分进行化学处理来将其除掉，并将露出的金属层通过蚀刻进行去除，则仅仅是位于剩有光致抗蚀剂的部分之下的金属层残留，通过去除光致抗蚀剂，从而在基板上形成布线图案。在将照射光向正型、负型中的任意一种光致抗蚀剂进行照射的情况下，为了遍及照射面整面地确保均匀的曝光量，均使用了平均每灯的发光量多的放电灯来作为光源。

放电灯通过在发光管中的气密的内部空间中相互分离对置配置的一对电极彼此之间产生电弧放电，从而使封入于该内部空间的水银受到激发而发出紫外光。

根据光致抗蚀剂的种类，最适合的曝光时间，也就是，向光致抗蚀剂照射来自放电灯的光的时间长度是确定的。故而，一般实施的是，在放电灯与曝光对象物(光致抗蚀剂等)之间配置闸板(shutter)，仅以需要的时间使闸板打开从而将曝光对象物以最适合的曝光时间进行曝光，而在除此以外的期间(例如，替换曝光对象物的期间等)将闸板关闭(例如，专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：JP特开2002-373840号公报

发明内容

(发明要解决的课题)

然而，现有的曝光方法中存在问题。利用闸板来控制曝光时间，从而灯在未实施曝光时也需要持续发光，因此不仅产生电力的浪费，而且无法实现始终以额定电力进行发光的灯的长寿命化。

本发明鉴于这样的课题而提出，其目的在于，提供一种放电灯的点亮方法，不仅能降低对曝光对象物的曝光没有帮助的浪费的电力，而且能实现灯的长寿命化。

(用于解决课题的技术方案)

根据本发明的一形态，提供一种灯的点亮方法，包括如下步骤：在将曝光对象物进行曝光的曝光期间，对灯供给曝光用电力；以及在所述曝光期间以外的期间，对所述灯供给低于所述曝光用电力且能维持所述灯的点亮状态的待机电力。

优选地，所述灯是放电灯，供给所述曝光用电力的时间比所述放电灯的内压到达在向所述放电灯持续供给所述曝光用电力的情况下的所述放电灯的稳态内压的时间短。

优选地，所述灯是LED(发光二极管)，供给所述曝光用电力的时间比所述LED的结温到达在向所述LED持续供给所述曝光用电力的情况下的所述LED的稳态结温的时间短。

优选地，在所述灯为LED的情况下，在所述曝光期间以外的期间，停止对所述灯供给的电力来使所述灯熄灭。

优选地，对应于进行曝光的光致抗蚀剂的受光灵敏度，使来自所述灯的照射强度在所述曝光期间之间变化。

(发明效果)

根据本发明，能够提供一种灯的点亮方法，不仅能降低对曝光对象物的曝光没有帮助的浪费的电力，而且能实现灯的长寿命化。