[发明专利]用于电源电路的铁笼射频隔离器

权利要求书

1.一种用于向还经受多个RF信号作用的等离子体处理室的部件提供隔离的功率的装置，所述多个RF信号至少包括具有第一RF频率的第一RF信号，所述装置包括：

第一线圈和第二线圈；和

围绕所述第一线圈和所述第二线圈的铁氧体笼，所述铁氧体笼包括：

支撑所述第一线圈的第一介电盘；

支撑所述第二线圈的第二介电盘；

第一和第二多个铁氧体片，其设置在所述第一介电盘的背离所述第二介电盘的一侧上；

第三和第四多个铁氧体片，其设置在所述第二介电盘的背离所述第一介电盘的一侧上；

布置所述第一至第四多个铁氧体片，使得所述第一介电盘和所述第二介电盘以及所述第一线圈和第二线圈位于第一至第四多个铁氧体片的内部；

第五多个铁氧体片，其用于将所述第一和第二多个铁氧体片中的相应的铁氧体片与所述第三和第四多个铁氧体片连接；

所述第五多个铁氧体片用于将所述第一和第二介电盘分开，使得所述第一和第二线圈间隔开预定距离；

所述第一线圈用于接收输入电压信号，并且所述第二线圈用于提供隔离的功率信号。

2.根据权利要求1所述的装置，其中，

所述第一和第二多个铁氧体片具有相同的尺寸和形状，并且

所述第三和第四多个铁氧体片具有相同的尺寸和形状。

3.根据权利要求1所述的装置，其中

所述第二多个铁氧体片中的每个分别布置在所述第一多个铁氧体片中的相邻的铁氧体片之间，并且所述第二多个铁氧体片中的每个短于所述第一多个铁氧体片中的每个；并且

所述第四多个铁氧体片中的每个分别布置在所述第三多个铁氧体片中的相邻的铁氧体片之间，并且所述第四多个铁氧体片中的每个短于所述第三多个铁氧体片中的每个。

4.根据权利要求3所述的装置，其中

所述第一和第二多个铁氧体片是矩形形状，并布置在所述第一介电盘上，以便从所述第一介电盘的中心向其外围径向散开，并且

所述第三和第四多个铁氧体片是矩形形状，并且被布置在所述第二介电盘上，以便从所述第一介电盘的中心朝着其外围径向散开。

5.根据权利要求4所述的装置，其中

所述第一介电盘具有位于其外围的多个槽，

所述第二介电盘具有位于其外围的多个槽；以及

所述第五多个铁氧体片延伸穿过所述槽，以在所述第一和第二介电盘的所述外围处将所述第一和第二多个铁氧体片中的所述相应铁氧体片与所述第三和第四多个铁氧体片连接。

6.根据权利要求1所述的装置，其中

所述第一和第二多个铁氧体片从所述第一介电盘的中心部分向外延伸到其外围，

所述第三和第四多个铁氧体片从所述第一介电盘的中心部分向外延伸至其外围，并且

所述第五多个铁氧体片在所述第一和第二介电盘的所述外围处将所述第一和第二多个铁氧体片中的所述相应铁氧体片与所述第三和第四多个铁氧体片连接。

7.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第一至第五多个铁氧体片包含选自由锰锌铁氧体、镍锌铁氧体和镁锌铁氧体组成的群组中的铁氧体。

8.根据权利要求7所述的装置，其中，所述第一至第四多个铁氧体片包含选自由锰锌铁氧体和镁锌铁氧体组成的群组的铁氧体，并且所述第五多个铁氧体片包含镍锌铁氧体。

9.根据权利要求1所述的装置，其还包括两个盘状铁氧体片，所述盘状铁氧体片中的一个布置在所述第一介电盘的中心处，以接触所述第一和第二多个铁氧体片，所述盘状铁氧体片中的另一个布置在所述第二介电盘的中心处，以接触所述第三和第四多个铁氧体片。

10.根据权利要求9所述的装置，其还包括第六多个铁氧体片，以将所述第一和第二盘状铁氧体片朝向所述第一和第二介电盘的相应中心连接。