[发明专利]用于传感器的应力隔离框架

权利要求书

1.一种用于降低传感器的封装应力灵敏度的设备，包括：

用于附接到基底的至少一个锚定点；

刚性框架结构，其被配置为至少部分地支撑所述传感器；和

在每个锚定点和所述刚性框架结构之间的柔顺元件。

2.根据权利要求1所述的设备，其中，所述传感器是磁力计、时钟、加速度计、陀螺仪、麦克风和压力传感器中的一种。

3.根据权利要求1所述的设备，其中，所述传感器部分或全部悬挂于所述刚性框架结构。

4.根据权利要求1所述的设备，其中每个柔顺元件包括至少一个连接到锚定点的连接件和多个连接到所述刚性框架结构的连接件。

5.根据权利要求1所述的设备，其中，所述刚性框架结构通过四个锚定点和四个相应的柔顺元件附接到所述基底。

6.根据权利要求1所述的设备，其中所述刚性框架结构是全框架、半框架、L形框架、在至少一侧上为直边和T形框架中的一种。

7.根据权利要求6所述的设备，其中所述刚性框架结构和所述柔顺元件各自包括选自由硅、氮化硅、氧化硅、铝、钛、钢、铜、金和塑料组成的组的材料。

8.根据权利要求7所述的设备，其中构成所述刚性框架结构的材料与构成所述柔顺元件的材料相同或不同。

9.根据权利要求8所述的设备，其中，所述柔顺元件比所述刚性框架结构更柔顺。

10.根据权利要求1所述的设备，其中，所述柔顺元件是悬挂元件，所述悬挂元件是蟹脚型结构、直梁或折叠弹簧中的一种。

11.一种用于支撑微机电(MEMS)传感器的设备，所述设备包括：

用于附接到基底的四个锚定点；

刚性框架结构，其被配置为支撑所述MEMS传感器；和

在每个锚定点和所述刚性框架结构之间的蟹脚型悬挂元件，其中所述蟹脚型悬挂元件是柔顺的。

12.根据权利要求11所述的设备，其中，所述MEMS传感器是磁力计、时钟、加速度计、陀螺仪、麦克风和压力传感器中的一种。

13.根据权利要求11所述的设备，其中每个蟹脚型悬挂元件包括一个连接到锚定点的连接件和多个连接到所述刚性框架结构的连接件。

14.根据权利要求11所述的设备，其中所述刚性框架结构是全框架、半框架、L形框架、在至少一侧上为直边和T形框架中的一种。

15.根据权利要求14所述的设备，其中所述刚性框架结构和所述蟹脚型悬挂元件各自包括选自由硅、氮化硅、氧化硅、铝、钛、钢、铜、金和塑料组成的组的材料。

16.根据权利要求15所述的设备，其中构成所述刚性框架结构的材料与构成所述蟹脚型悬挂元件的材料相同。

17.根据权利要求16所述的设备，其中所述蟹脚型悬挂元件比所述刚性框架结构更柔顺。

18.一种用于降低传感器的封装应力灵敏度的方法，包括：

提供基底；

提供一个或更多个锚定点，所述锚定点用于附接到所述基底；

提供刚性框架结构，所述刚性框架结构至少部分地支撑所述传感器；和

通过相应的柔顺元件将所述刚性框架结构附接到所述锚定点。

19.根据权利要求18所述的方法，其中，所述传感器是磁力计、时钟、加速度计、陀螺仪、麦克风和压力传感器中的一种。