[发明专利]功能性构件及其制造方法

权利要求书

1.一种功能性构件，其特征在于，

在所述功能性构件的表面形成有多个微针，

相邻的所述微针间的间隔在1～500μm的范围内，所述微针的直径在0.25～250μm的范围内，所述微针的高度在5～200μm的范围内，

所述微针是弯曲的。

2.根据权利要求1所述的功能性构件，其特征在于，

在所述微针之间的所述表面形成有微孔。

3.根据权利要求2所述的功能性构件，其特征在于，

所述微孔具有与所述微针的直径相当的内径。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的功能性构件，其特征在于，

所述微针的外形形状具有将所述表面侧作为底面立起设置的大致圆锥形状的外周面的一部分凹陷为凹状的形状。

5.根据权利要求1～3中的任一项所述的功能性构件，其特征在于，

在所述微针的前端部形成有直径为500nm以下的细微的凹凸。

6.根据权利要求1～3中的任一项所述的功能性构件，其特征在于，

所述功能性构件由不锈钢或者铝系的金属构成，或者由树脂构成。

7.根据权利要求1～3中的任一项所述的功能性构件，其特征在于，

所述功能性构件作为接合部件或者催化剂保持件发挥功能。

8.一种功能性构件的制造方法，其制造在由金属构成的表面形成有多个微针的功能性构件，所述功能性构件的制造方法的特征在于，

包括对初始构件的表面照射激光且在第一方向上以间隔d进行扫描的工序，

所述微针间的间隔在1～500μm的范围内，所述微针的直径在0.25～250μm的范围内，所述微针的高度在5～200μm的范围内，所述微针是弯曲的，

将所述激光的光斑尺寸半径设为ω，设定对于ω使0＜Δ＜2ω成立的参数Δ，并以使d＜2ω+Δ成立的方式设定间隔d。

9.根据权利要求8所述的功能性构件的制造方法，其特征在于，

所述激光为亚纳秒-纳秒脉冲激光。

10.根据权利要求8或9所述的功能性构件的制造方法，其特征在于，仅在所述第一方向上对所述表面扫描所述激光。

11.根据权利要求8或9所述的功能性构件的制造方法，其特征在于，在所述第一方向上扫描所述激光的扫描速度为20mm/s以下。

12.根据权利要求8或9所述的功能性构件的制造方法，其特征在于，

将N设为2以上的整数，将所述激光分支为彼此分开间隔D的N束子激光并对所述表面进行照射，若将所述N束子激光中的某束子激光的扫描间隔设为I，

则I＝N×D或者I＝1/N×D成立。

13.根据权利要求8或9所述的功能性构件的制造方法，其特征在于，

将所述初始构件置于非活性气体环境下来进行基于所述激光的照射的加工。

14.根据权利要求12所述的功能性构件的制造方法，其特征在于，

通过调整所述间隔d、所述光斑尺寸半径ω、所述Δ、所述激光或者所述子激光的能量密度、扫描速度以及加工环境气体中的至少一个，来调整所述微针的直径。

15.一种功能性构件的制造方法，其特征在于，

将通过权利要求8～14中的任一项所述的功能性构件的制造方法制造出的功能性构件作为模具，并将所述多个微针转印于树脂，从而制造在表面形成有多个微针的、由树脂构成的功能性构件。