[发明专利]与成像和激光测量结合的检查

权利要求书

1.一种用于检查样品(2)的设备(100)，其包括用于获得所述样品(2)的概览图像(21)的成像装置(1)、用于通过从孔眼(31)射出的激光束(32)来局部询问所述样品(2)的至少一个特性(22)的测量仪器(3)，还包括用于确定所述样品(2)上当前正在通过所述激光束(32)询问的位置(23)的跟踪装置(4)以及存储器(6)，在所述存储器中通过所述激光束(32)询问的特性(22)与所确定的所述样品(2)上的位置(23)相关联，其特征在于，所述跟踪装置(4)被设计为通过对由此从所述概览图像(21)产生的激光点(32a)进行评估来确定所述激光束(32)照到所述样品(2)上的位置(23)，和/或通过测量所述孔眼(31)的位置(31a)和取向(31b)来确定该位置(23)。

2.根据权利要求1所述的设备(100)，其特征在于，所述孔眼(31)是探针(5)的一部分，所述探针(5)能够由所述设备(100)的操作者手动引导至所述样品(2)。

3.根据权利要求2所述的设备(100)，其特征在于，所述探针(5)具有用于通过所述测量仪器(3)询问所述特性(22)的能手动操作的触发器(51)。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的设备(100)，其特征在于，设置有跟踪装置，该跟踪装置被设计为关于所述孔眼(31)与所述样品(2)之间的距离变化来跟踪从所述孔眼(31)射出的所述激光束(32)的焦平面。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的设备(100)，其特征在于，所述跟踪装置(4)包括图像评估逻辑(41)，所述图像评估逻辑被设计为检测所述概览图像(21)的亮度超过阈值的位置，识别所述概览图像(21)的亮度中心和/或所述概览图像(21)的亮度的空间轮廓与所述激光束(32)的光束轮廓相匹配的位置，作为所述样品(2)上当前正在通过所述激光束(32)询问的位置(23)。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的设备(100)，其特征在于，设置有用于以频率w对所述激光束(32)进行强度调制的调制器(33)，其中，所述装置(1)被设计为获得概览图像(21)的时间顺序，并且其中所述跟踪装置(4)包括图像评估逻辑(42)，该图像评估逻辑被设计为从所述概览图像(21)的时间顺序中识别以所述频率w调制亮度的位置作为所述样品(2)上当前正在通过激光束(32)询问的位置(23)。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的设备(100)，其特征在于，所述跟踪装置(4)包括分别用于在空间上跟踪所述孔眼(31)或者探针(5)的至少两个激光扫描仪(43)或无线电发射器(44)。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的设备(100)，其特征在于，所述测量仪器(3)另外包括扫描装置，所述扫描装置被设计为改变所述激光束(32)从所述孔眼(31)出射的角度。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的设备(100)，其特征在于，所述测量仪器(3)包括用于询问所述样品(2)的化学组成的拉曼光谱仪(35)。

10.根据权利要求9所述的设备(100)，其特征在于，一方面的激发激光器(36)和另一方面的拉曼光谱仪(35)经由分光比依赖于波长的光纤耦合器(37)连接至通向所述孔眼(31)的公共玻璃纤维(38)。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的设备(100)，其特征在于，设置有输出单元(71)，所述输出单元被设计为将存储在所述存储器(6)中并通过所述激光束(32)扫描的特性(22)的表示(61)叠加在所述样品(2)的通过所述存储器(6)相关联的位置(23)处的所述概览图像(21)上。