[发明专利]有机EL器件及其制造方法

说明书

有机EL器件(100A)具有包含多个有机EL元件(3)的有源区域(R1)及周边区域(R2)，且具有：具有多个有机EL元件的元件基板(20)及覆盖多个有机EL元件的薄膜封装结构(10A)。薄膜封装结构具有：第一无机阻挡层(12)；与第一无机阻挡层的上表面相接的有机阻挡层(14)；及与第一无机阻挡层的上表面及有机阻挡层的上表面相接的第二无机阻挡层(16)。周边区域具有：第一突状结构体(22a)，其包含沿着有源区域的至少一个边延伸的部分；及第一无机阻挡层的延伸设置部(12e)，其延伸设置于第一突状结构体上，第一突状结构体包含第一部分及第二部分，第一部分比第二部分更靠近第一突状结构体的顶部，在从基板的法线方向观察时，第一部分的平行于基板面的截面包括与第二部分的平行于基板面的截面不重叠的部分。

技术领域

本发明涉及一种有机EL器件及其制造方法。

背景技术

有机EL(Electro Luminescence，电致发光)显示装置开始投入实际使用。有机EL显示装置的特征之一是可获得柔性显示装置。有机EL显示装置在每个像素中具有至少一个有机EL元件(有机发光二极管，Organic Light Emitting Diode：OLED)和控制供给至各OLED的电流的至少一个TFT(Thin Film Transistor，薄膜晶体管)。以下，将有机EL显示装置称为OLED显示装置。如上所述地在每个OLED中具有TFT等开关元件的OLED显示装置被称为有源矩阵型OLED显示装置。并且，将形成有TFT及OLED的基板称为元件基板。

OLED(特别是有机发光层及阴极电极材料)容易受到水分的影响而劣化，容易产生显示不均。作为提供保护OLED免受水分的影响、且不损害柔软性的封装结构的技术，开发了薄膜封装(Thin Film Encapsulation：TFE)技术。薄膜封装技术通过交替层叠无机阻挡层与有机阻挡层来通过薄膜获得充分的水蒸气阻挡性。从OLED显示装置的耐湿可靠性的观点考虑，典型的是要求薄膜封装结构的水蒸气透过率(Water Vapor Transmission Rate：WVTR)为1×10^-4g/m²/day以下。

目前市售的OLED显示装置中所使用的薄膜封装结构具有厚度约5μm～约20μm的有机阻挡层(高分子阻挡层)。如此较厚的有机阻挡层还起到使元件基板的表面平坦化的作用。

而且，于专利文献1及2中，记载了具有由分布不均匀的树脂构成的有机阻挡层的薄膜封装结构。专利文献1或2中所记载的薄膜封装结构不具有厚的有机阻挡层。因此，认为如果使用专利文献1或2中所记载的薄膜封装结构，则OLED显示装置的挠曲性得到改善。

于专利文献1中，揭示了如下薄膜封装结构，其在从元件基板侧起依次形成第一无机材料层(第一无机阻挡层)、第一树脂材料及第二无机材料层(第二无机阻挡层)时，使第一树脂材料不均匀地分布在第一无机材料层的凸部(包覆有凸部的第一无机材料层)的周围。根据专利文献1，使第一树脂材料不均匀地分布在可能未被第一无机材料层充分包覆的凸部的周围，由此抑制水分或氧自该部分侵入。而且，第一树脂材料发挥作为第二无机材料层的基底层的功能，因此能够适当地形成第二无机材料层，从而以所期望的膜厚适宜地包覆第一无机材料层的侧面。第一树脂材料可以以如下方式形成。将被加热气化的雾状有机材料供给至维持为室温以下温度的元件基板上，有机材料于基板上凝结、滴状化。滴状化的有机材料由于毛细管现象或表面张力在基板上移动，从而不均匀分布于第一无机材料层的凸部侧面与基板表面的边界部。其后，使有机材料固化，由此在边界部形成第一树脂材料。在专利文献2中也揭示了具有同样的薄膜封装结构的OLED显示装置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2014/196137号

专利文献2：日本专利特开2016-39120号公报

发明内容

本发明所要解决的技术问题