[发明专利]真空容器中的碎屑通量测量系统的再生

说明书

一种装置包括：容器；将目标引向容器中的交互区域的目标传递系统，该目标包括在处于等离子体状态时发射极紫外光的目标物质；以及量测装置。量测装置包括具有被配置为测量目标物质的通量的测量表面的测量系统和被配置为再生测量系统的再生工具。再生包括：防止测量表面变为饱和，和/或如果测量表面已经变为饱和，则使测量表面去饱和。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2017年12月15日提交的美国申请62/599,139的优先权，其全部内容通过引用并入本文。

技术领域

所公开的主题涉及一种用于测量系统的再生的系统和方法，该测量系统测量在极紫外光源的腔室内产生的碎屑的量或通量(flux)。

背景技术

在光刻工艺中可以使用极紫外线(EUV)光(例如，波长约为50nm或更小的电磁辐射(有时也称为软X射线)，并且包括波长约为13nm的光)来在衬底(例如，硅晶片)中产生极小的特征。

产生EUV光的方法包括但不限于将具有例如氙、锂或锡等元素的材料转换成等离子状态的EUV范围内的发射线。在一种这样的方法中，可以通过用放大光束以小滴、板、带、流或材料团簇的形式照射目标材料来产生所需要的等离子体(通常称为激光产生的等离子体(“LPP”))。对于这个过程，通常在密封容器(例如，真空室)中产生等离子体，并且使用各种类型的量测装置对其进行监测。

发明内容

在一些一般方面，一种装置包括：容器；将目标引向容器中的交互区域的目标传递系统，目标包括在处于等离子体状态时发射极紫外光的目标物质；以及量测装置。量测装置包括具有被配置为测量目标物质的通量的测量表面的测量系统和被配置为再生测量系统的再生工具。再生包括：防止测量表面变为饱和，和/或如果测量表面已经变为饱和，则使测量表面去饱和。

实现可以包括以下特征中的一个或多个。例如，量测装置可以包括与测量系统和再生工具通信的控制装置。控制装置可以被配置为基于来自测量系统的输出来激活再生工具。

测量表面可以被配置为与目标物质交互。目标物质与测量表面之间的交互产生测量信号。测量系统还可以包括被配置为接收测量信号并且跨测量表面计算目标物质的通量的测量控制器。

量测装置可以包括晶体微量天平。晶体微量天平可以是石英晶体微量天平。

容器可以限定腔体，并且容器腔体可以保持在低于大气压的压力下。

交互区域可以接收放大光束，并且目标可以被转换成在目标与放大光束交互时发射极紫外光的等离子体。

该装置还可以包括光学元件，该光学元件包括在容器内的光学元件表面。量测装置可以相对于光学元件表面定位。光学元件可以是光收集器，在该光收集器中，光学元件表面在目标被转换成等离子体时与发射的至少一些极紫外光交互。

再生工具可以被配置为：在无需从容器中去除量测装置的情况下，再生测量系统。再生工具可以包括清洁工具，该清洁工具被定位为与测量系统交互，并且被配置为：根据测量控制器的指令，来去除已经沉积在测量表面上的目标物质。清洁工具可以包括被配置为在测量表面附近产生自由基的自由基产生单元。自由基可以与所沉积的目标物质发生化学反应，以形成从测量表面释放的新的化学物质。自由基产生单元可以包括邻近测量表面的丝线和向丝线提供电流的电源。丝线可以具有与测量表面的形状相匹配的形状。自由基产生单元可以包括在测量表面附近生成在等离子体状态下的等离子体材料的等离子体发生器，该等离子体材料包括自由基。自由基可以是从容器内的天然氢分子产生的氢的自由基。测量表面上的目标物质可以包括锡，使得从测量表面释放的化学物质包括氢化锡。

该装置还可以包括被配置为从容器中去除释放的新的化学物质的去除装置。去除装置可以包括与容器的内部流体连通的气体端口，并且释放的新的化学物质通过气体端口从容器的内部被传递。