[发明专利]弹性波装置有效
申请号: | 201880081589.9 | 申请日: | 2018-10-19 |
公开(公告)号: | CN111492575B | 公开(公告)日: | 2023-09-26 |
发明(设计)人: | 铃木孝尚;宫本幸治 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | H03H9/145 | 分类号: | H03H9/145 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 赵琳琳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 弹性 装置 | ||
在抑制活塞模式的阻碍的同时谋求ESD耐性的提高。将多个IDT电极(3)之中在第2方向(D2)上相邻的两个IDT电极(3)的一者设为第1IDT电极,将另一者设为第2IDT电极,此时,在第1IDT电极中,一组电极指之中最靠近第2IDT电极的第1电极指(6)包含第2方向(D2)的宽度比最靠近第2IDT电极的第1电极指(6)的第1方向(D1)的中央部(60)大的宽幅部(62)。在第1IDT电极中,关于最靠近第2IDT电极的第1电极指(6),第1距离(L1)比第2距离(L2)短,该第1距离(L1)是沿着第1方向(D1)的中央部(60)的中心线(6X)和宽幅部(62)的第2IDT电极侧的外缘(621)的第2方向(D2)的最大距离,该第2距离(L2)是中央部(60)的中心线(6X)和宽幅部(62)的与第2IDT电极相反侧的外缘(622)的第2方向(D2)的最大距离。
技术领域
本发明一般地涉及弹性波装置,更详细地涉及具备IDT电极的弹性波装置。
背景技术
以往,作为弹性波装置,已知有如下的弹性波装置,其具备压电基板(压电体部)和设置在压电基板上的IDT电极,在IDT电极的电极指的一部分设置有宽幅部(例如,参照专利文献1)。在专利文献1记载的弹性波装置的一个例子中,在压电基板上,在IDT电极的声表面波传播方向两侧形成有反射器。IDT电极以及反射器由金属材料形成。在专利文献1记载的弹性波装置的特征在于,具备如下构造,即,通过在IDT电极中形成活塞模式,从而抑制横模纹波。
在专利文献1记载的弹性波装置中,IDT电极具有:第1汇流条;第2汇流条,与第1汇流条隔开配置;多根第1电极指,基端与第1汇流条电连接,前端朝向第2汇流条延伸;以及多根第2电极指,基端与第2汇流条连接,前端朝向第1汇流条延伸。在上述的弹性波装置中,在第1电极指以及第2电极指的双方设置有宽幅部。
第1汇流条具有沿着第1汇流条的长度方向分离配置的多个开口部。第1汇流条具有:内侧汇流条部,位于比多个开口部更靠第1电极指侧,且在第1汇流条的长度方向上延伸;中央汇流条部,设置有多个开口部;以及外侧汇流条部,位于夹着中央汇流条部而与内侧汇流条部相反侧。
第2汇流条具有沿着第2汇流条的长度方向分离配置的多个开口部。第2汇流条具有:内侧汇流条部,位于比多个开口部更靠第2电极指侧,且在第2汇流条的长度方向上延伸;中央汇流条部,设置有多个开口部;以及外侧汇流条部,位于夹着中央汇流条部而与内侧汇流条部相反侧。
此外,在专利文献1记载了如下内容,即,并不限于构成单端口型谐振器的电极形状,能够将专利文献1记载的发明应用于带通滤波器等多种多样的弹性波装置。
在先技术文献
专利文献
专利文献1:国际公开第2014/192756号
发明内容
发明要解决的课题
在IDT电极的电极指的一部分设置有宽幅部的弹性波装置中,例如,在第1汇流条以及第2汇流条的长度方向上,相邻的谐振器的IDT电极的电位不同的电极指彼此邻接,因此有时会在邻接的电极指间引起静电放电(ESD:Electrostatic Discharge)而被浪涌破坏。
本发明的目的在于,提供一种能够在抑制活塞模式的阻碍的同时谋求ESD耐性的提高的弹性波装置。
用于解决课题的技术方案
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