[发明专利]观察对象物罩、干涉观察用容器、干涉观察装置及干涉观察方法

权利要求书

1.一种观察对象物罩，其中，

是用于使用第一光及相干长度比所述第一光长的第二光，基于所述第二光的干涉结果调整光路长差并且取得由所述第一光形成的观察对象物的干涉光像的干涉观察的观察对象物罩，

具备：

透过反射部，其使所述第一光透过并且使所述第二光反射；以及

支承部，其以载置所述观察对象物的载置面和所述透过反射部隔开规定的间隔而彼此相对的方式支承所述透过反射部。

2.根据权利要求1所述的观察对象物罩，其中，

所述支承部具有第一板部、和以在所述第一板部和所述透过反射部之间形成阶差的方式与所述第一板部及所述透过反射部连接的第二板部，以所述透过反射部在所述第一光的入射方向上相对于所述第一板部位于所述载置面侧的方式支承所述透过反射部。

3.根据权利要求2所述的观察对象物罩，其中，

所述第二板部以越远离所述透过反射部，由所述第二板部及所述透过反射部划定的空间越扩大的方式相对于所述第一光的所述入射方向倾斜地延伸。

4.根据权利要求2或3所述的观察对象物罩，其中，

由所述第二板部及所述透过反射部划定的空间在与所述第一光的入射方向正交的截面上呈圆形状。

5.根据权利要求2～4中任一项所述的观察对象物罩，其中，

所述支承部还具有：第三板部，其以与所述第二板部彼此相对的方式从所述第一板部延伸。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的观察对象物罩，其中，

所述透过反射部具有光透过性的基板和光学层，所述光学层设置于所述基板的朝向所述载置面侧的表面，使所述第一光透过并且使所述第二光反射。

7.一种干涉观察用容器，其中，

具备：

权利要求1～6中任一项所述的观察对象物罩；以及

保持部件，其具有设置有所述载置面的底壁部及沿着与所述载置面正交的方向从所述底壁部延伸的侧壁部，

所述观察对象物罩以所述载置面和所述透过反射部隔开规定的间隔而彼此相对的方式配置于所述侧壁部上。

8.根据权利要求7所述的干涉观察用容器，其中，

所述观察对象物罩以所述观察对象物罩和所述保持部件之间被密闭的方式安装于所述保持部件。

9.根据权利要求7或8所述的干涉观察用容器，其中，

在所述侧壁部设置有第一螺合部，

所述支承部具有沿着所述第一光的入射方向延伸的第四板部，

在所述第四板部设置有与所述第一螺合部螺合的第二螺合部，

所述观察对象物罩通过所述第一螺合部和所述第二螺合部相互螺合而安装于所述保持部件。

10.一种干涉观察装置，其中，

具备：

权利要求1～6中任一项所述的观察对象物罩；

第一光源，其输出所述第一光；

第二光源，其输出所述第二光；

干涉光学系统，其输出所述第一光的干涉光及所述第二光的干涉光；

第一光检测部，其检测所述第一光的干涉光；

第二光检测部，其检测所述第二光的干涉光；以及

保持部件，其设置有所述载置面。

11.一种干涉观察方法，其中，

是使用权利要求10所述的干涉观察装置的干涉观察方法，

包括：

第一步骤，将所述观察对象物载置于所述载置面；

第二步骤，在所述第一步骤之后，以所述载置面和所述透过反射部隔开规定的间隔而彼此相对的方式配置所述观察对象物罩；以及

第三步骤，在所述第二步骤之后，基于所述第二光的干涉结果调整光路长差，并且取得由所述第一光形成的观察对象物的干涉光像。