[发明专利]增强电子束生成

权利要求书

1.一种电子束源，其特征在于，包括：

阴极，

阳极，

用于将电子束偏转到目标表面上的装置，

至少一个真空泵；和

收缩孔口，所述收缩孔口布置在所述阳极和用于偏转所述电子束的所述装置之间，

其中：

所述收缩孔口相对于所述阴极与所述阳极中的孔口对准；

所述收缩孔口小于所述阳极中的所述孔口；

第一真空泵布置在所述收缩孔口与所述阳极之间，第二真空泵布置在所述阳极上方；

气体入口设置在所述收缩孔口和用于偏转所述电子束的所述装置之间；并且

所述电子束的第一交叉点布置在所述收缩孔口处或紧邻所述收缩孔口。

2.根据权利要求1所述的电子束源，其特征在于，进一步包括所述阳极上方的所述电子束的第二交叉点。

3.根据权利要求1所述的电子束源，其特征在于，其中，所述电子束的所述第一交叉点由设置在所述阳极与所述收缩孔口之间的至少一个第一聚焦透镜产生。

4.根据权利要求3所述的电子束源，其特征在于，其中，设置在所述阳极与所述收缩孔口之间的所述聚焦透镜适于根据电子束电流来调节所述电子束的所述第一交叉点的位置，以便将所述第一交叉点的所述位置维持在所述收缩孔口处或紧邻所述收缩孔口。

5.根据权利要求4所述的电子束源，其特征在于，进一步包括拾取孔口，所述拾取孔口布置在所述收缩孔口上方并紧邻所述收缩孔口以感测拾取电流，其中，所述拾取电流用作设置在所述阳极和所述收缩孔口之间的所述聚焦透镜的输入调节，以将所述第一交叉点的所述位置维持在所述收缩孔口处或紧邻所述收缩孔口。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的电子束源，其特征在于，其中，所述第一交叉点根据查找表被调节。

7.根据权利要求1-5中任一项所述的电子束源，其特征在于，其中，所述阳极上方的平均压力低于所述阳极下方的平均压力。

8.根据权利要求1-5中任一项所述的电子束源，其特征在于，其中，所述收缩孔口的尺寸为1-2 mm。

9.根据权利要求1-5中任一项所述的电子束源，其特征在于，其中，所述阳极孔口的尺寸为2-3.5 mm。

10.根据权利要求1-5中任一项所述的电子束源，其特征在于，其中，所述气体是惰性气体。

11.根据权利要求1-5中任一项所述的电子束源，其特征在于，其中，所述气体入口布置在所述收缩孔口下方并且紧邻所述收缩孔口。

12.根据权利要求1-5中任一项所述的电子束源，其特征在于，其中，所述电子束源进一步包括至少一个第二聚焦透镜，所述至少一个第二聚焦透镜设置在收缩区域下方，以确定所述目标表面上的所述电子束的尺寸。

13.根据权利要求1-5中任一项所述的电子束源，其特征在于，其中，用于偏转所述电子束的所述装置是至少一个偏转线圈。

14.一种通过逐层熔融粉末材料来制造三维制品的增材制造机器，其特征在于，所述机器包括控制单元和根据权利要求1所述的电子束源。