[发明专利]工件切断方法及线锯有效
申请号: | 201880082498.7 | 申请日: | 2018-11-26 |
公开(公告)号: | CN111511504B | 公开(公告)日: | 2022-03-01 |
发明(设计)人: | 北川幸司;丰田史朗 | 申请(专利权)人: | 信越半导体株式会社 |
主分类号: | B24B55/02 | 分类号: | B24B55/02;B24B27/06;B28D5/04;B28D7/02;H01L21/304 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 张晶;刘言 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 工件 切断 方法 | ||
1.一种工件切断方法,其通过线锯进行,通过将表面固着有磨粒的固定磨粒金属线卷绕至多个带沟滚轮而形成金属线列,通过一边使所述固定磨粒金属线在轴向上往复移动,一边将工件向所述金属线列切入进给,从而将所述工件在轴向排列的多个位置同时切断,其特征在于,
在通过所述固定磨粒金属线进行工件切断过程中,将工件切断用冷却剂供给至所述金属线列上,当切断所述工件后从所述金属线列拉出所述工件时,将工件拉出用冷却剂供给至所述金属线列上,其中,所述工件拉出用冷却剂与所述工件切断用冷却剂不同且与所述工件切断用冷却剂相比黏度更高。
2.根据权利要求1所述的工件切断方法,其特征在于,使用在25℃下黏度为5mPas以下的冷却剂作为所述工件切断用冷却剂,使用25℃下黏度为15mPas以上的冷却剂作为所述工件拉出用冷却剂。
3.根据权利要求1所述的工件切断方法,其特征在于,使用水分的含量为99质量%以上的冷却剂作为所述工件切断用冷却剂,使用水分的含量为90质量%以下的冷却剂作为所述工件拉出用冷却剂。
4.根据权利要求2所述的工件切断方法,其特征在于,使用水分的含量为99质量%以上的冷却剂作为所述工件切断用冷却剂,使用水分的含量为90质量%以下的冷却剂作为所述工件拉出用冷却剂。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的工件切断方法,其特征在于,作为所述工件,对直径为300mm以上的工件进行切断。
6.一种线锯,其具备:金属线列,通过将表面固着有磨粒的固定磨粒金属线卷绕至多个带沟滚轮而形成;工件进给机构,一边保持工件一边将其推抵至所述金属线列;以及冷却剂供给机构,向所述金属线列上供给冷却剂,通过一边使所述固定磨粒金属线在轴向上往复移动,一边从所述冷却剂供给机构向所述金属线列供给冷却剂,并且通过所述工件进给机构对工件进行切入进给,从而将所述工件在轴向排列的多个位置同时切断,其特征在于,
所述冷却剂供给机构在通过所述固定磨粒金属线进行工件切断过程中,将工件切断用冷却剂供给至所述金属线列上,当切断所述工件后从所述金属线列拉出所述工件时,将工件拉出用冷却剂供给至所述金属线列上,其中,所述工件拉出用冷却剂与所述工件切断用冷却剂不同且与所述工件切断用冷却剂相比黏度更高。
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