[发明专利]维持恒压的液体供给装置有效

专利信息
申请号: 201880083003.2 申请日: 2018-11-08
公开(公告)号: CN111656503B 公开(公告)日: 2023-08-04
发明(设计)人: 李连范;林泽圭;林根福;赵皓峻;金圣洙;安哲秀;金哲泳;杨承和 申请(专利权)人: 先技高科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 北京知联天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11594 代理人: 张陆军;张迎新
地址: 韩国京畿道*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 维持 液体 供给 装置
【权利要求书】:

1.一种维持恒压的液体供给装置,其特征在于,所述维持恒压的液体供给装置(100)包括:

容器(10),其用于容纳持续地维持一定压力的液体;

主液体供给部件(20),其与所述容器(10)流体连接,而且用于向所述容器(10)供给适量的用于维持一定压力的液体;

第一加压部件(30),其与所述容器(10)流体连接,而且用于向所述容器(10)供给用于维持一定恒压的主氮气;

第二加压部件(40),其与所述容器(10)流体连接,而且为了微调所述液体的供给压力和所述主氮气的恒压间的压差,通过进一步供给或者排出氮气使所述容器(10)内的压力维持一定;

水位传感器(60),其设置于所述容器(10)上且用于感知所述容器(10)内液体的水位;

输出端压力维持部件(70),其用于使从所述容器(10)排出的液体的排出压力维持一定;以及

控制装置(80),其用于控制所述维持恒压的液体供给装置(100)的整体操作;

所述第二加压部件(40)包括:第三泵(42),其用于向所述容器(10)内抽送用于微调压力的氮气;氮气供给用自动阀(44),其设置在所述第三泵(42)与所述容器(10)之间的第三管道(41)上;第四泵(48),其用于排出供给到所述容器(10)内的部分氮气;以及氮气排出用自动阀(46),其设置于在所述第四泵(48)与所述容器(10)之间延伸的第四管道(45)上。

2.如权利要求1所述的维持恒压的液体供给装置,其特征在于,

还包括防过压排气部件(50),当在所述容器(10)内感知到异常过压时将氮气从所述容器(10)强制地排出到外部。

3.如权利要求1所述的维持恒压的液体供给装置,其特征在于,

所述主液体供给部件(20)包括用于向所述容器(10)内抽送用于维持一定压力的液体的第一泵(22)、设置于在所述第一泵(22)与所述容器(10)之间延伸的第一管道(21)上的主液体输入端自动阀(24)和主液体输入端压力传感器(26)。

4.如权利要求1所述的维持恒压的液体供给装置,其特征在于,

所述第一加压部件(30)包括:第二泵(32),其用于向所述容器(10)内抽送用于维持一定恒压的氮气;以及主氮气压力传感器(36),其设置于在所述第二泵(32)与所述容器(10)之间延伸的第二管道(31)上。

5.如权利要求1所述的维持恒压的液体供给装置,其特征在于,

所述输出端压力维持部件(70)包括用于将从所述容器(10)排出的液体供给到所需位置而进行抽送操作的第五泵(72)、设置于在所述第五泵(72)与所述容器(10)之间延伸的第五管道(71)上的累计流量计(73)、输出端自动阀(74)、调压器(75)以及输出端压力传感器(76)。

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