[发明专利]数据处理装置、数据处理方法以及程序

说明书

本发明对在制造工艺中收集到的数据实现通用性高的数据处理。数据处理装置具有：计算单元，收集与工艺内的规定步骤建立对应的数据群，并关于各个数据群来计算该规定步骤中的效果；分割单元，分割特征空间，以便与上述规定步骤建立对应的多个数据群各自在该特征空间中的分布按计算出的每一上述效果被分类；以及输出单元，输出特定数据，该特定数据特定分割后的上述特征空间的各区域。

技术领域

本发明涉及数据处理装置、数据处理方法以及程序。

背景技术

以往，公知有收集在各种制造工艺(例如，半导体制造工艺)中运用或者测定出的数据，并进行各种解析的数据处理装置。通过使用该数据处理装置来进行收集到的数据的解析，从而制造工艺的模型化、模拟处理的执行等成为可能，能够实现制造工艺的最佳化、产品质量的提高。

专利文献1：美国专利申请公开第二017/0177997号说明书

专利文献2：美国专利申请公开第二015/0211122号说明书

专利文献3：日本特开2009-152269号公报

另一方面，制造工艺的模型化花费时间与成本。另外，使模拟精度提高需要对每个制造设备分别独立地构建模型，即使是同种的制造工艺，在制造设备不同的情况下，也需要重新构建模型。因此，以往的数据处理装置对在制造工艺中收集到的数据进行的数据处理既花费时间与成本，又存在缺乏通用性这一问题。

发明内容

在一个侧面中，以对在制造工艺中收集到的数据实现通用性高的数据处理为目的。

根据一形式，数据处理装置具有：

计算单元，收集与工艺内的规定步骤建立对应的数据群，并关于各个数据群来计算该规定步骤中的效果；

分割单元，分割特征空间，以便按计算出的每一上述效果分类与上述规定步骤建立对应的多个数据群各自的在该特征空间中的分布；以及

输出单元，输出特定数据，该特定数据特定分割后的上述特征空间的各区域。

能够对在制造工艺中收集到的数据实现通用性高的数据处理。

附图说明

图1是示出数据处理系统的整体构成的一个例子的图。

图2是示出在各单位处理的数据群的具体例的图。

图3是用于对储存于解析结果储存部的解析结果数据的概要进行说明的图。

图4是示出数据处理装置的硬件构成的一个例子的图。

图5是示出数据解析部的功能构成的一个例子的图。

图6是示出效果计算部的处理的具体例的图。

图7是示出储存于数据储存部的数据群的一个例子的图。

图8是示出分类部的处理的具体例的图。

图9是示出由Proxel计算部计算出的Proxel的一个例子的图。

图10是示出基于分类部以及Proxel计算部的Proxel计算处理的流程的第一流程图。

图11是用于对计算Proxel的优点进行说明的第一图。

图12是用于对计算Proxel的优点进行说明的第二图。

图13是用于对计算Proxel的优点进行说明的第3图。

图14是示出基于分类部以及Proxel计算部的Proxel计算处理的流程的第二流程图。

具体实施方式