[发明专利]冷却设备、半导体制造装置和半导体制造方法

权利要求书

1.一种冷却设备，包括：

槽；

第一路径，被配置成通过泵循环液相制冷剂以便从槽提取液相制冷剂、冷却液相制冷剂，并且将液相制冷剂返回到槽；以及

从第一路径分支的第二路径，

所述第二路径包括被配置成加热从第一路径供应的液相制冷剂的加热器、被配置成减小由加热器加热的制冷剂的压力的节流阀以及被配置成通过来自冷却目标的热使通过节流阀的制冷剂的至少一部分汽化的汽化器，并且通过节流阀的制冷剂被返回到槽。

2.根据权利要求1所述的冷却设备，还包括：

温度检测器，被配置成检测通过节流阀的制冷剂的温度；以及

温度控制器，被配置成基于来自温度检测器的输出控制加热器。

3.根据权利要求2所述的冷却设备，其中，第一路径包括热交换器，并且由泵从槽抽吸的制冷剂通过热交换器被返回到槽。

4.根据权利要求3所述的冷却设备，其中，第二路径与第一路径的分支点被布置在泵与热交换器之间。

5.根据权利要求4所述的冷却设备，其中，第一路径还包括布置在第二路径的分支点与槽之间的第一节流阀。

6.根据权利要求3所述的冷却设备，还包括：

检测器，被配置成检测槽中的汽化的制冷剂的量；以及

控制器，被配置成基于来自检测器的输出控制热交换器。

7.根据权利要求6所述的冷却设备，其中，在槽中没有被汽化的气体被密封在槽中。

8.根据权利要求7所述的冷却设备，其中，所述气体生成局部压力，所述局部压力等同于从第二路径返回到槽的制冷剂的蒸汽压与槽中的制冷剂的蒸汽压之间的差。

9.根据权利要求7所述的冷却设备，其中，所述气体的局部压力不低于泵的NPSH(净正抽吸头)。

10.根据权利要求3所述的冷却设备，还包括热泵，所述热泵被配置成将从热交换器排出的热移动到加热器，

其中，加热器被配置成通过使用从热泵提供的热对从第一路径供应的液相制冷剂进行加热。

11.根据权利要求10所述的冷却设备，其中，基于来自温度检测器的输出控制热泵。

12.根据权利要求6所述的冷却设备，还包括热泵，所述热泵被配置成将从热交换器排出的热移动到加热器，

其中，加热器被配置成通过使用从热泵提供的热对从第一路径供应的液相制冷剂进行加热，并且

基于来自温度检测器的输出和来自检测器的输出控制热泵。

13.根据权利要求1所述的冷却设备，其中，槽包括具有比槽中的水平截面积大的截面积的构件，并且

所述构件被布置为接触槽中的液相制冷剂和从第二路径返回的制冷剂。

14.根据权利要求13所述的冷却设备，其中，从第一路径返回到槽的制冷剂被返回到槽以便从所述构件上方落下。

15.根据权利要求1所述的冷却设备，其中，从第一路径返回到槽的制冷剂从槽上方作为淋浴或薄雾落下或喷射。

16.根据权利要求1所述的冷却设备，还包括第二热交换器，所述第二热交换器被配置成执行由加热器加热的制冷剂与第二冷却目标之间的热交换。

17.根据权利要求16所述的冷却设备，其中，通过第二热交换器的制冷剂被返回到槽。

18.根据权利要求17所述的冷却设备，还包括布置在第二热交换器与槽之间的路径上的节流阀。