[发明专利]通过使用可分离结构来转移层的方法

权利要求书

1.一种用于从可分离结构（100）转移表层（30）的转移方法，所述转移方法包括以下步骤：

a）供应所述可分离结构（100），所述可分离结构（100）包括：

支撑基底（10）；

可分离层（20），所述可分离层（20）沿着主平面（x，y）布置在所述支撑基底（10）上并且包括彼此分开的多个壁（21），各个壁（21）具有垂直于所述主平面（x，y）的至少一个侧面；

表层（30），所述表层（30）沿着所述主平面（x，y）布置在所述可分离层（20）上，

b）施加机械力，所述机械力被配置成致使所述壁（21）沿着所述侧面的割线方向弯曲，直到致使所述壁（21）机械断裂为止，以便使所述表层（30）从所述支撑基底（10）分离，

其中，步骤a）包括通过在所述可分离层（20）上组装供体基底（3）并且通过减薄所述供体基底（3）以便形成所述表层（30）来将所述表层（30）转移到所述可分离层（20）上。

2.根据权利要求1所述的转移方法，其中，将所述壁（21）根据预限定的网格分布在所述主平面（x，y）中。

3.根据权利要求2所述的转移方法，其中，壁（21）的所述预限定的网格使得所述主平面（x，y）中存在与各个壁（21）的一个侧面形成非零角度的至少一个横向方向（D_T）。

4.根据权利要求3所述的转移方法，其中，各个壁（21）包括由所述壁的长度（L）和高度（h）限定的两个纵向侧面以及由所述壁（21）的宽度（l）和所述高度（h）限定的两个横向侧面，所述纵向侧面和所述横向侧面垂直于所述主平面（x，y）。

5.根据权利要求4所述的转移方法，其中，各个壁（21）的所述长度（L）大于各个壁（21）的所述宽度（l），并且其中，所述横向方向（D_T）与各个壁（21）的纵向侧面形成非零角度。

6.根据权利要求3至5中的任一项所述的转移方法，其中，步骤b）的所述机械力是沿着所述横向方向（D_T）施加到所述可分离层（20）的剪切力。

7.根据权利要求6所述的转移方法，其中，所述剪切力借助于辊（5）施加，所述辊（5）以特定的挤压力在所述主平面（x，y）中沿着所述横向方向（D_T）在所述可分离结构（100）上逐渐前进。

8.根据权利要求3至5中的任一项所述的转移方法，其中，步骤b）的所述机械力是沿着所述横向方向（D_T）施加到所述可分离结构（100）的冲击。

9.根据权利要求3至5中的任一项所述的转移方法，其中，步骤b）的所述机械力是沿着所述横向方向（D_T）施加到所述可分离结构（100）并且能够使所述壁（21）振荡的振动波。

10.根据权利要求1至5中的任一项所述的转移方法，其中，各个壁（21）具有在所述主平面（x，y）中的在0.1微米至10微米之间的宽度（l）。

11.根据权利要求1至5中的任一项所述的转移方法，其中，各个壁（21）的在所述支撑基底（10）附近的下部（212）处的宽度小于各个壁（21）的在所述表层（30）附近的上部（211）处的宽度。

12.根据权利要求1至5中的任一项所述的转移方法，其中，所述壁（21）具有垂直于所述主平面（x，y）的在0.5微米至5微米之间的高度（h）。

13.根据权利要求1至5中的任一项所述的转移方法，其中，各个壁（21）具有在所述主平面（x，y）中的宽度（l）和垂直于所述主平面（x，y）的高度（h），并且其中，高度与宽度之比大于1。