[发明专利]高功率射频螺旋线圈滤波器

权利要求书

1.一种射频滤波器装置，其包括：

以间隔开的布置彼此电耦合的多个基本平面的螺旋滤波器，所述多个基本平面的螺旋滤波器中的每一个作为内部到内部的电连接和外部到外部的电连接被交替地耦合到所述基本平面的螺旋滤波器中的一个相邻螺旋滤波器，交替的内部到内部和外部到外部的连接提供相长干涉的磁路，所述多个基本平面的螺旋滤波器以接连的配置进行布置，从线圈的给定端部的角度来看，所述基本平面的螺旋滤波器中的每一个沿相同的方向缠绕；以及

螺线管RF滤波器，所述螺线管RF滤波器电耦合到所述多个基本平面的螺旋滤波器，所述多个基本平面的螺旋滤波器的缠绕轴的取向基本上横向于所述螺线管RF滤波器的缠绕轴，所述射频滤波器装置配置为耦合到基于等离子体的处理系统。

2.根据权利要求1所述的射频滤波器装置，其中所述基本平面的螺旋滤波器彼此基本平行地堆叠。

3.根据权利要求2所述的射频滤波器装置，其中所述基本平面的螺旋滤波器还包括空芯。

4.根据权利要求2所述的射频滤波器装置，其中所述基本平面的螺旋滤波器还包括铁磁芯材料。

5.根据权利要求1所述的射频滤波器装置，其中所述基本平面的螺旋滤波器中的每一个包括能够处理500瓦至50千瓦的绞线构造。

6.根据权利要求1所述的射频滤波器装置，其中所述多个基本平面的螺旋滤波器提供从500欧姆到10千欧姆的阻抗值。

7.根据权利要求1所述的射频滤波器装置，其中所述多个基本平面的螺旋滤波器减小在100kHz至3MHz的范围内的低频RF功率。

8.根据权利要求1所述的射频滤波器装置，其中所述多个基本平面的螺旋滤波器中的相邻螺旋滤波器之间的距离基本相等。

9.根据权利要求1所述的射频滤波器装置，其中所述多个基本平面的螺旋滤波器中的相邻螺旋滤波器之间的距离变化。

10.根据权利要求9所述的射频滤波器装置，其中所述多个基本平面的螺旋滤波器中的相邻螺旋滤波器之间的所述距离变化以增加来自每个所述基本平面的螺旋滤波器的对流冷却。

11.根据权利要求9所述的射频滤波器装置，其中所述多个基本平面的螺旋滤波器中的相邻螺旋滤波器之间的距离变化以改变所述射频滤波器装置的总电感值。

12.根据权利要求1所述的射频滤波器装置，其中所述多个基本平面的螺旋滤波器中的至少一个螺旋滤波器的螺距在所述螺旋滤波器的所有部分中是径向均匀的。

13.根据权利要求1所述的射频滤波器装置，其中所述多个基本平面的螺旋滤波器中的至少一个螺旋滤波器的螺距不同于所述多个基本平面的螺旋滤波器中的一个相邻螺旋滤波器的螺距。

14.根据权利要求1所述的射频滤波器装置，其中所述多个基本平面的螺旋滤波器中的至少一个螺旋滤波器的螺距从所述螺旋滤波器的一个区段到另一区段径向地变化。