[发明专利]位移传感器复合型静电测定电位传感器及其应用方法

说明书

本发明涉及一种位移传感器复合型静电测定电位传感器及其应用方法，包括为了能够通过将用于对距离进行测定的位移传感器以及用于对静电释放（ESD）进行测定的静电测定电位传感器安装到一台装置上并使其关联工作而解决现有的静电测定传感器中的静电电位测定结果值随着带电体与电位传感器之间的距离发生变化的问题，将位移传感器所测定到的与带电体之间的距离存储到主控制器中并自动地对电位传感器的静电量测定值进行补正，同时将位移传感器对电位传感器造成的静电容量变化适用于静电传感器所测定到的结果值的误差补正，从而能够解决在对运动的测定对象物体等距离发生变更的带电体进行检测时错误工作的问题，还具有能够准确测定电位、通过装置的小型化而提升实用便利性、节省制造以及安装成本等效果的位移传感器复合型静电测定电位传感器及其应用方法。

技术领域

本发明涉及一种位移传感器复合型静电测定电位传感器及其应用方法，尤其涉及一种为了能够通过将用于对距离进行测定的位移传感器以及用于对静电释放(ESD)进行测定的静电测定电位传感器集成为一台仪器安装到装置上并使其关联工作而解决现有的静电测定传感器中的静电电位测定结果值随着带电体与电位传感器之间的距离发生变化的问题，将位移传感器所测定到的与带电体之间的距离存储到主控制器中并自动地对电位传感器的静电量测定值进行补正，同时将位移传感器对电位传感器造成的静电容量变化适用于静电传感器所测定到的结果值的误差补正，从而能够解决在对运动的测定对象物体或对如被卷取到滚筒上塑料等距离发生变更的测定带电体进行检测时错误工作的问题，还具有能够准确测定电位、通过装置的小型化而提升实用便利性、节省制造以及安装成本等效果的位移传感器复合型静电测定电位传感器及其应用方法。

背景技术

通常，静电(Static Electricity)是指以静止在某个物体的状态或其移动停滞的状态存在的带电电荷，是处于静止状态的电力。当其他物体接近或解除如上所述的处于静电带电状态的带电体时，静电将在一瞬间通过放电移动到另一物体并生成高电压，在严重时还有可能导致电火花。如上所述的静电的放电能量可能会在产业现场中导致产业设备以及产品的破坏、火灾爆炸、触电以及粉尘吸附等问题并导致人身伤害，还可能会因为形成电磁波干扰而导致产品的可靠性以及生产性的下降。尤其是，在大量使用可燃性物质或纤维制品的产业现场，因为静电而导致的小的电火花也有可能引发如爆炸或火灾等大型的安全事故，因此必须高度重视。因为如上所述的原因，在爆炸危险地区或建设有精密电子产品制造工厂、大型管道以及存储罐、纤维工厂等的地区，为了对在装置或作业场地等中产生的静电进行测定而使用用于对表面电阻、体积电阻、表面电压等进行测定的静电测定设备，而且静电场强测定设备被广泛地适用于对因为一个带电体所携带的静电而产生的静电压进行测定并对其电荷量进行计算。

现有的静电测定设备主要使用静电场强测定(Electrostatic field meter)方式，如图1所示，能够与需要测定静电压的带电体表面(Surface under test)维持预先规定的一定距离的振动开尔文传感器(Vibrating kelvin sensor)将被配置在与带电体表面相向的位置上，此时将在带电体表面发生静电放电(EDS；Electrostatic discharge)并借助于带电体表面与振动开尔文传感器之间的电位差异而在振动开尔文传感器中感应生成Sin电流。通过感应生成的Sin电流的大小，能够对带电体表面的电位进行测定，其公式如下述公式1所示。

[公式1]