[发明专利]分层非接触支撑平台

说明书

一种非接触支撑系统，包括具有端口层的工作台，该端口层具有散布的压力端口和真空端口的图案。压力管道层包括可连接到压力源的压力管道的网格图案，每个压力端口位于穿过至少两个压力管道的交点并且基本上正交于压力管道的网格图案的轴线上。真空管道层包括可连接到抽吸源的真空管道的网格图案，每个真空端口位于穿过至少两个真空管道的交点并且基本上正交于真空管道的网格图案的轴线上。真空管道的网格图案与压力管道的网格图案横向偏移，使得压力管道的每个交点从真空管道的所有交点横向偏移。

技术领域

本发明涉及支撑表面。更具体地，本发明涉及一种具有布置成多个层的压力和真空管道的非接触支撑平台。

背景技术

许多行业需要处理薄且柔性的工件。例如，平板显示器行业需要处理大片的薄玻璃板，例如，具有数十厘米至数米的横向尺寸(长度和宽度)和小于一毫米的厚度。在许多情况下，工件与表面或物体的任何不必要的物理接触，例如工件处理所不需要的接触，都可能存在划伤或以其他方式损坏或损伤工件的风险。

通常的解决方案是在非接触支撑平台上支撑工件。非接触支撑平台通常包括台面，该台面构造为在台面上方形成气垫。例如，台面可包括压力端口的分布，将空气从该压力端口中推出到台面上方。在许多情况下，被施加吸力的真空端口散布在压力端口之间。

当工件是刚性的时，工件的局部弯曲可以忽略不计。在这种情况下，如果由非接触支撑平台形成的气垫足够厚，则可将工件支撑在离台面均匀的距离处，并且可能不存在工件和台面之间接触的风险。

然而，如果工件是柔性的，并且如果由所形成的气垫施加的力在工件下方不均匀，则由气垫支撑的工件可能弯曲或凹陷。例如，在一些情况下，凹坑可在工件上形成“蛋坑(egg crate)”图案。在这种情况下，工件的一部分可能朝向台面弯曲或下垂，从而有工件与台面之间接触的风险。另外，工件的非均匀支撑可能不利地影响在工件上执行的制造或检查过程。

发明内容

因此，根据本发明的一个实施方式，提供了一种具有工作台的非接触支撑系统，包括：端口层，其包括散布的压力端口和真空端口的图案；压力管道层，其包括压力管道的网格图案，该压力管道可连接到压力源，每个压力端口位于轴线上的一位置处，该轴线穿过至少两个压力管道的交点并且基本上正交于在该位置处的压力管道的网格图案；以及真空管道层，其包括真空管道的网格图案，真空管道可连接到抽吸源，每个真空端口位于轴线上的一位置处，该轴线穿过至少两个真空管道的交点并且基本上正交于在该位置处的真空管道的网格图案，真空管道的网格图案从压力管道的网格图案横向偏移，使得压力管道的每个交点从真空管道的所有交点横向偏移。

此外，根据本发明的一个实施方式，压力管道层和真空管道层各自包括检修孔，该检修孔构造为使得当压力管道层的检修孔与真空管道层的检修孔对准时能够插入紧固件或传感器，每个检修孔从所有的压力管道和真空管道横向移位。

此外，根据本发明的一个实施方式，检修孔定位成使得检修孔与最近的管道之间的横向距离大于最小距离。

此外，根据本发明的一个实施方式，网格图案是正方形图案，并且其中，检修孔横向地定位于压力端口与最近的真空端口之间的中间位置。

此外，根据本发明的一个实施方式，压力管道层和真空管道层中的每者的网格图案是正方形图案，其中在由压力管道之间的两个交点和真空管道之间的两个交点界定的正方形区域中移除一段压力管道和正交的真空管道。

此外，根据本发明的一个实施方式，检修孔位于正方形区域中。

此外，根据本发明的一个实施方式，压力管道层包括通向压力歧管的开口，或者真空管道层包括通向真空歧管的开口。

此外，根据本发明的一个实施方式，非接触支撑系统包括至少一个限流器层，该限流器层包括限流器，以限制压力管道层和端口层的压力端口之间的气流。