[发明专利]以非重叠方式施加频率和匹配调谐以处理衬底的系统和方法

权利要求书

1.一种用于施加频率和匹配调谐以处理衬底的方法，其包括：

控制射频(RF)产生器以产生与脉冲信号同步的RF信号，其中所述脉冲信号在高状态和低状态之间周期性地交替，其中所述高状态具有比所述低状态大的逻辑电平，其中所述射频信号在所述高状态期间具有高功率电平，并且在所述低状态时具有低功率电平，其中所述高功率电平大于所述低功率电平；

在所述脉冲信号的第一时间间隔期间调谐RF信号；以及

在所述脉冲信号的第二时间间隔期间调谐阻抗匹配，其中所述第二时间间隔与所述第一时间间隔没有重叠。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第一时间间隔在所述高状态期间发生，并且所述第二时间间隔在所述高状态期间发生。

3.根据权利要求2所述的方法，其中，所述第一时间间隔是发生所述高状态的时间间隔的一半，并且所述第二时间间隔是发生所述高状态的时间间隔的其余一半。

4.根据权利要求2所述的方法，其中，所述第一时间间隔小于发生所述高状态的时间间隔的一半，并且所述第二时间间隔大于发生所述高状态的时间间隔的其余一半。

5.根据权利要求2所述的方法，其中，所述第一时间间隔大于发生所述高状态的时间间隔的一半，并且所述第二时间间隔小于发生所述高状态的时间间隔的其余一半。

6.根据权利要求2所述的方法，其中，所述第一时间间隔发生在所述第二时间间隔之前或之后。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第一时间间隔是基于朝所述RF产生器反射的功率来确定的，其中，所述第二时间间隔是根据所述第一时间间隔来确定的。

8.根据权利要求1所述的方法，其中，在所述第一时间间隔期间，发生RF参数调谐信号从关断电平到导通电平的从低到高的过渡，并且在所述第一时间间隔期间，发生所述RF参数调谐信号从所述导通电平到所述关断电平的从高到低的过渡，其中在所述第二时间间隔期间，发生匹配调谐信号从所述关断电平到所述导通电平的从低到高的过渡，并且在所述第二时间间隔期间，发生所述匹配调谐信号从所述导通电平到所述关断电平的从高到低的过渡，其中，在所述第一时间间隔期间所述RF参数调谐信号的所述从高到低的过渡发生在所述第二时间间隔期间所述匹配调谐信号的所述从低到高的过渡之前。

9.根据权利要求8所述的方法，其还包括：

在所述脉冲信号的第三时间间隔期间调谐所述RF信号；以及

在所述脉冲信号的第四时间间隔期间调谐所述阻抗匹配，其中所述第四时间间隔与所述第三时间间隔不重叠，

其中，在所述第三时间间隔期间，发生所述RF参数调谐信号从所述关断电平到所述导通电平的从低到高的过渡，并且在所述第三时间间隔期间，发生所述RF参数调谐信号从所述导通电平到所述关断电平的从高到低的过渡，其中在所述第四时间间隔期间，发生所述匹配调谐信号从所述关断电平到所述导通电平的从低到高的过渡，并且在所述第四时间间隔期间，发生所述匹配调谐信号从所述导通电平到所述关断电平的从高到低的过渡，其中，在所述第三时间间隔期间所述RF参数调谐信号的所述从高到低的过渡发生在所述第四时间间隔期间所述匹配调谐信号的所述从低到高的过渡之前。

10.根据权利要求1所述的方法，其中，在调谐所述RF产生器的所述第一时间间隔期间不调谐所述阻抗匹配，并且在调谐所述阻抗匹配的所述第二时间间隔期间不调谐所述RF产生器。

11.根据权利要求1所述的方法，

其中在所述脉冲信号的所述高状态的一部分期间和在所述脉冲信号的所述低状态的一部分期间执行所述调谐所述RF信号，

其中，在所述脉冲信号的所述高状态的其余部分期间和在所述脉冲信号的所述低状态的其余部分期间，执行所述调谐所述阻抗匹配。