[发明专利]衍射光学元件、光学系统以及光学设备有效
申请号: | 201880086437.8 | 申请日: | 2018-12-27 |
公开(公告)号: | CN111615649B | 公开(公告)日: | 2022-03-15 |
发明(设计)人: | 籔本洋 | 申请(专利权)人: | 株式会社尼康 |
主分类号: | G02B5/18 | 分类号: | G02B5/18;G02B13/02;G02B13/18 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 季莹;方应星 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 衍射 光学 元件 光学系统 以及 设备 | ||
1.一种衍射光学元件,通过具有衍射光栅而作为透镜发挥作用,其中,
周边区域中的衍射光栅的光栅高度比以光轴为中心的中央区域中的衍射光栅的光栅高度高,
满足下式的条件:
0.50rc0.98
0.01%Δh/h010.00%
其中,
r:标准化半径,即,从光轴起的与该光轴正交的方向的高度除以有效直径而得到的值
h0:0.00r0.50处的所述衍射光栅的光栅高度的平均值
hmax:0.98r1.00处的所述衍射光栅的光栅高度的平均值
Δh:hmax与h0之差
rc:光栅高度为(h0+hmax)/2的标准化半径。
2.根据权利要求1所述的衍射光学元件,其中,
使所述衍射光栅构成为闪耀形状。
3.根据权利要求1或2所述的衍射光学元件,其中,
所述衍射光栅的光栅高度从以光轴为中心的中央区域中的衍射光栅到周边区域中的衍射光栅而阶梯性地变高。
4.根据权利要求1或2所述的衍射光学元件,其中,
在所述中央区域形成有光栅高度为h0的衍射光栅,
在所述周边区域形成有光栅高度为hmax的衍射光栅,
且满足下式的条件:
Se/(Sc+Sp)≤50%
Sc:所述中央区域的面积
Sp:所述周边区域的面积
Se:形成有光栅高度h0和光栅高度hmax以外的光栅高度的衍射光栅的区域的面积。
5.根据权利要求1或2所述的衍射光学元件,其中,
在有效直径内的任何区域中,设计级数都相同,
设计级数是指通过所述衍射光栅衍射的n级、n±1级、n±2级……的衍射级数的衍射光中的强度成为最大的衍射光的衍射级数。
6.根据权利要求1或2所述的衍射光学元件,其中,
所述衍射光学元件由折射率不同的两个光学材料构成,在该光学材料的边界面形成有所述衍射光栅。
7.一种光学系统,具有权利要求1~6中的任意一项所述的衍射光学元件。
8.一种光学系统,从物体侧依次具备:
具有正的光焦度的第1透镜组;以及
具有负的光焦度的第2透镜组,
所述第1透镜组具有权利要求1~6中的任意一项所述的衍射光学元件,
且满足下式的条件:
0.001f1/fpf0.030
其中,
f1:所述第1透镜组的焦距
fpf:所述衍射光学元件的焦距。
9.一种光学设备,具有权利要求7或8所述的光学系统。
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