[发明专利]扫描型探针显微镜和分析方法

权利要求书

1.一种扫描型探针显微镜，其特征在于，具备：

扫描处理部，其通过使悬臂沿试样的表面相对移动，来在主扫描方向和副扫描方向上进行扫描；

图像获取处理部，其基于与扫描过程中的所述悬臂的挠曲量相应的输出信号，获取试样的表面图像；

扫描条件变更处理部，其对包含所述主扫描方向上的扫描速度和扫描范围中的至少一方的扫描条件进行变更；以及

噪声判定处理部，其基于通过所述扫描条件变更处理部变更了所述扫描条件时的所述输出信号的变化或者试样的表面图像的变化，来判定所述输出信号中是否含有噪声，

其中，所述噪声判定处理部基于以下情况判定为所述输出信号中含有噪声：在通过所述扫描条件变更处理部将所述扫描速度变更为高速时，所述输出信号中包含的周期性特征的间隔或者试样的表面图像中包含的周期性特征的间隔变大，或者，在通过所述扫描条件变更处理部将所述扫描速度变更为低速时，所述输出信号中包含的周期性特征的间隔或者试样的表面图像中包含的周期性特征的间隔变小。

2.根据权利要求1所述的扫描型探针显微镜，其特征在于，

所述扫描型探针显微镜还具备噪声去除处理部，在通过所述噪声判定处理部判定为所述输出信号中含有噪声的情况下，所述噪声去除处理部从获取的试样的表面图像去除噪声。

3.一种扫描型探针显微镜，其特征在于，具备：

扫描处理部，其通过使悬臂沿试样的表面相对移动，来在主扫描方向和副扫描方向上进行扫描；

图像获取处理部，其基于与扫描过程中的所述悬臂的挠曲量相应的输出信号，获取试样的表面图像；

扫描条件变更处理部，其对包含所述主扫描方向上的扫描速度和扫描范围中的至少一方的扫描条件进行变更；以及

噪声判定处理部，其基于通过所述扫描条件变更处理部变更了所述扫描条件时的所述输出信号的变化或者试样的表面图像的变化，来判定所述输出信号中是否含有噪声，

其中，所述噪声判定处理部基于以下情况判定为所述输出信号中含有噪声：在通过所述扫描条件变更处理部变更了扫描条件使得所述扫描范围变小时、或者在通过所述扫描条件变更处理部变更了扫描条件使得所述扫描范围变大时，所述输出信号中包含的周期性特征的间隔或者试样的表面图像中包含的周期性特征的间隔没有变化。

4.根据权利要求3所述的扫描型探针显微镜，其特征在于，

所述扫描型探针显微镜还具备噪声去除处理部，在通过所述噪声判定处理部判定为所述输出信号中含有噪声的情况下，所述噪声去除处理部从获取的试样的表面图像去除噪声。

5.一种分析方法，使用扫描型探针显微镜，所述扫描型探针显微镜使悬臂沿试样的表面相对移动，来在主扫描方向和副扫描方向上进行扫描，由此基于与扫描过程中的所述悬臂的挠曲量相应的输出信号来获取试样的表面图像，所述分析方法的特征在于，包括以下步骤：

扫描条件变更步骤，对包含所述主扫描方向上的扫描速度和扫描范围中的至少一方的扫描条件进行变更；以及

噪声判定步骤，基于通过所述扫描条件变更步骤变更了所述扫描条件时的所述输出信号的变化或者试样的表面图像的变化，来判定所述输出信号中是否含有噪声，

在所述噪声判定步骤中，基于以下情况判定为所述输出信号中含有噪声：在通过所述扫描条件变更步骤将所述扫描速度变更为高速时，所述输出信号中包含的周期性特征的间隔或者试样的表面图像中包含的周期性特征的间隔变大，或者，在通过所述扫描条件变更步骤将所述扫描速度变更为低速时，所述输出信号中包含的周期性特征的间隔或者试样的表面图像中包含的周期性特征的间隔变小。

6.根据权利要求5所述的分析方法，其特征在于，

所述分析方法还包括噪声去除步骤，在所述噪声去除步骤中，在通过所述噪声判定步骤判定为所述输出信号中含有噪声的情况下，从获取的试样的表面图像去除噪声。