[发明专利]处理模块子系统的主动反馈控制

权利要求书

1.一种用于使在耦合到用于处理衬底的处理模块的多个子系统之间的控制信号同步的通信系统，其包括：

分布式控制器，其耦合到所述多个子系统中的每个子系统，并且被配置为启动多个处理步骤，所述处理步骤中的每一个具有步骤时段，每个步骤时段具有多个片段；和

分布式时钟模块，其包括主时钟，该主时钟具有包括多个时钟周期的时钟速度，每个时钟周期具有与反馈循环预相关的持续时间，在该反馈循环中，通过所述分布式时钟模块将同步的控制信号传送到所述多个子系统以及从所述多个子系统接收所述同步的控制信号，其中，所述分布式时钟模块被配置为分配预定数量的时钟周期，以执行相应数量的反馈循环，从而在处理步骤之间过渡，

其中，所述预定数量的时钟周期被限制为所述步骤时段的片段。

2.根据权利要求1所述的通信系统，其中，要在两个处理步骤之间的过渡期间的所述预定数量的时钟周期内执行的相应数量的反馈循环包括：

设置反馈循环，所述设置反馈循环在所述主时钟的第一时钟周期内执行，所述设置反馈循环被配置为设置所述多个子系统的一个或多个控制参数；和

多个调整反馈循环，每个调整反馈循环在所述主时钟的一个时钟周期内执行，并且在所述设置反馈循环之后执行，每个调整反馈循环被配置用于验证所述一个或多个控制参数的所述设置并用于调整所述一个或多个控制参数的所述设置。

3.根据权利要求2所述的通信系统，其中，所述相应数量的反馈循环还包括：

多个监测反馈循环，其在所述步骤时段内在所述多个调整反馈循环之后执行。

4.根据权利要求1所述的通信系统，其中，所述反馈循环包括：

测量由所述相应的子系统控制的参数的第一步骤；

处理所测得的参数的第二步骤；

基于处理后的所测得的参数确定变化的第三步骤；以及

通过在所述主时钟的时钟速度的一个周期内向所述相应的子系统传送相应的控制信号来施加所述变化的第四步骤。

5.根据权利要求1所述的通信系统，其中，所述反馈循环包括比例-积分-微分(PID)控制循环。

6.根据权利要求1所述的通信系统，其中，所述多个处理步骤以原子层精度进行沉积处理而没有自限反应，所述处理步骤包括：

激活步骤；和

沉积步骤。

7.根据权利要求1所述的通信系统，其中，所述多个处理步骤以原子层精度进行蚀刻处理而没有自限反应，所述处理步骤包括：

激活步骤；和

蚀刻步骤。

8.根据权利要求1所述的通信系统，其中，所述时钟速度基于将在所述步骤时段的所述片段期间执行的所述预定数量的时钟周期。

9.根据权利要求1所述的通信系统，其中，所述时钟速度是通过执行一个反馈循环所需的时间的倒数来计算的。

10.根据权利要求1所述的通信系统，其中，传送到第一子系统的控制信号基于对由第二子系统控制的至少一个参数的测量。

11.根据权利要求10所述的通信系统，其中，所述控制信号是被传送到作为所述第一子系统的至少一个RF发生器的RF功率控制信号，其中，所述控制信号基于对所述处理模块内的第一气体化学物质和第二气体化学物质的测量，所述第一气体化学物质和所述第二气体化学物质在执行所述多个处理步骤时使用，并由作为所述第二子系统的至少一个气体供应歧管控制。

12.根据权利要求1所述的通信系统，其中，所述分布式控制器按照通用模块欧罗巴(VME)标准或其衍生品中的一种进行操作。