[发明专利]LIDAR系统和方法

权利要求书

1.一种MEMS扫描装置，包括：

可移动MEMS反射镜，被配置为绕至少一个轴线枢转；

至少一个致动器，被配置为使所述可移动MEMS反射镜绕所述至少一个轴线在第一方向上枢转；

至少一个弹簧，被配置成使所述可移动MEMS反射镜绕所述至少一个轴线在不同于所述第一方向的第二方向上枢转；并且，其中所述至少一个致动器包括：

第一致动臂；

第二致动臂；和

所述第一致动臂与所述第二致动臂之间的间隙；

其中，所述第一致动臂和所述第二致动臂彼此相邻，通过所述间隙彼此至少部分地分开，并被配置为被同时致动，从而使得能够在所述可移动MEMS反射镜上施加组合机械力以使所述可移动MEMS反射镜绕所述至少一个轴线枢转。

2.根据权利要求1所述的MEMS扫描装置，其中，

所述至少一个致动器包括第一致动器和第二致动器，所述第一致动器包括所述第一致动臂和所述第二致动臂，并且所述第二致动器包括第三致动臂和第四致动臂，并且其中所述至少一个轴线包括第一轴线和第二轴线，所述第一致动臂和所述第二致动臂配置为同时作用以使所述可移动MEMS反射镜绕所述第一轴线枢转，并且所述第三致动臂和所述第四致动臂配置为同时作用以使所述可移动MEMS反射镜绕所述第二轴线枢转。

3.根据权利要求1所述的MEMS扫描装置，其中，

所述第一致动臂和所述第二致动臂具有不同的长度。

4.根据权利要求1所述的MEMS扫描装置，其中，

所述第一致动臂和所述第二致动臂具有不同的宽度。

5.根据权利要求1所述的MEMS扫描装置，其中，

所述第一致动臂与所述第二致动臂不同地成形。

6.根据权利要求1所述的MEMS扫描装置，其中，

所述第一致动臂和所述第二致动臂通过单个连接器连接至MEMS反射镜。

7.根据权利要求1所述的MEMS扫描装置，其中，

连接器将所述第一致动臂和所述第二致动臂中的至少一个连接至所述可移动MEMS反射镜，所述连接器为L形形状。

8.根据权利要求1所述的MEMS扫描装置，其中，

连接器将所述第一致动臂和所述第二致动臂中的至少一个连接至所述可移动MEMS反射镜，所述连接器为S形形状。

9.根据权利要求1所述的MEMS扫描装置，其中，

所述第一致动臂经由第一连接器连接至MEMS反射镜，所述第二致动臂经由第二连接器连接至MEMS反射镜。

10.根据权利要求1所述的MEMS扫描装置，其中，

所述第一致动臂和所述第二致动臂通过连接臂连接至彼此，并且

所述连接臂经由连接器连接到MEMS反射镜。

11.根据权利要求1所述的MEMS扫描装置，其中，

所述第一致动臂和所述第二致动臂中的每一个包括外侧和相对的内侧，所述内侧比所述外侧更靠近所述可移动MEMS反射镜，其中，第一连接器连接到所述第一致动臂的相对的内侧，第二连接器连接到所述第二致动臂的外侧。

12.根据权利要求1所述的MEMS扫描装置，其中，

所述间隙包括狭缝。

13.根据权利要求10所述的MEMS扫描装置，其中，

所述狭缝的宽度小于所述第一致动臂的平均宽度的5％。

14.根据权利要求1所述的MEMS扫描装置，其中，

所述间隙填充有固定的非反射材料。