[发明专利]控制用于AR波导组合器的光栅外耦合强度

权利要求书

1.一种装置，包含：

至少一个第一光栅，形成在基板上，具有第一工作周期；

至少一个第二光栅，形成在所述基板上，与所述至少一个第一光栅相邻，具有不同于所述第一工作周期的第二工作周期；及

至少一个第三光栅，形成在所述基板上，与所述至少一个第二光栅相邻，具有不同于所述第一工作周期和所述第二工作周期的第三工作周期。

2.如权利要求1所述的装置，其中所述第一、第二和第三工作周期在约0.1和约0.5之间。

3.如权利要求1所述的装置，其中所述至少一个第一、第二和第三光栅的每个光栅具有相同高度。

4.如权利要求1所述的装置，其中所述至少一个第一、第二和第三光栅的每个光栅包含相对于所述基板倾斜一定量的多个侧壁表面。

5.如权利要求2所述的装置，其中，

所述第二工作周期大于所述第一工作周期；及

所述第三工作周期大于所述第二工作周期。

6.一种装置，包含：

至少一个第一光栅，形成在基板上，具有第一折射率；

至少一个第二光栅，形成在所述基板上，与所述至少一个第一光栅相邻，具有大于所述第一折射率的第二折射率；及

至少一个光栅的三分之一，形成在所述基板上，与所述至少一个第二光栅相邻，具有大于所述第二折射率的第三折射率。

7.如权利要求6所述的装置，其中所述第一折射率和所述第二折射率在约1.2与约1.7之间。

8.如权利要求6所述的装置，其中所述第三折射率在约1.5与约2.5之间。

9.如权利要求6所述的装置，其中，

所述至少一个第一光栅包含第一材料与第二材料的第一比例；

所述至少一个第二光栅包含不同于所述第一比例的所述第一材料与所述第二材料的第二比例；及

所述至少一个第三光栅包含不同于所述第一比例和所述第二比例的所述第一材料与所述第二材料的第三比例。

10.如权利要求9所述的装置，其中所述第一材料包含二氧化钛(TiO₂)。

11.如权利要求9所述的装置，其中所述第二材料包含二氧化硅(SiO₂)、碳氧化硅(SiOC)及/或二氧化锆(ZrO₂)。

12.一种方法，包含以下步骤：

将一个或多个第一材料沉积到基板上；

将一个或多个第二材料沉积到所述基板上；

将印模压印到所述一个或多个第一材料和所述一个或多个第二材料中；

固化所述一个或多个第一材料和所述一个或多个第二材料；及

释放所述印模以形成所述一个或多个第一材料的第一光栅和所述一个或多个第二材料的第二光栅，所述第一光栅具有第一折射率和第一工作周期，所述第二光栅具有第二折射率和第二工作周期；及以下任一者：

所述第一工作周期与所述第二工作周期不同；或

所述第一折射率与所述第二折射率不同；或

所述第一折射率和所述第一工作周期都不同于所述第二折射率和所述第二工作周期。

13.如权利要求12所述的方法，其中所述第一光栅和第二光栅具有基本相等的高度。

14.如权利要求12所述的方法，其中所述第二工作周期大于所述第一工作周期。

15.如权利要求12所述的方法，其中所述第二折射率大于所述第一折射率。