[发明专利]光学薄膜、光学元件及光学系统

说明书

本发明提供一种具备平坦的超薄膜的含银金属层的光学薄膜及其制造方法、以及具备光学薄膜的光学元件、及具备其光学元件的光学系统。一种光学薄膜，其设置在基材上，所述光学薄膜中，从基材侧起依次具备中间层、含有银的含银金属层及电介质层，含银金属层的中间层侧的界面区域具备包含锚金属的氧化物的锚区域，含银金属层的电介质层侧的界面区域具备包含锚金属的氧化物的罩体区域，包含锚区域及罩体区域的含银金属层的膜厚为6nm以下，含银金属层含有标准电极电位高于银的金属即高标准电极电位金属，并且，在含银金属层的膜厚方向上，高标准电极电位金属的浓度分布的峰值位置比银的浓度分布的峰值位置更靠中间层侧。

技术领域

本发明涉及一种防反射膜或透明导电膜等光学薄膜、具备光学薄膜的光学元件及具备其光学元件的光学系统。

背景技术

以往，在使用玻璃以及塑料等透光性部件的透镜等透明基材中，为了减少基于表面反射的透射光的损失而在光入射面上设置有防反射膜。

作为相对于可见光显示出极低的反射率的防反射膜，已知有在最上层具备比可见光的波长短的间距的微细凹凸结构或形成有大量孔而成的多孔结构的结构。若使用在最上层上具有将微细凹凸结构或多孔结构等结构层作为低折射率层的防反射膜，则在可见光区域的宽波长频带内能够获得非常低的反射率(日本特开2015-094878号公报、日本特开2015-004919号公报、国际公开2016-031133号(以下中，分别称为专利文献1、2、3。)等)。

另一方面，作为在表面不具备结构层的防反射膜，在日本特开2006-184849号公报(以下，称为专利文献4。)、日本特开08-054507号公报(以下，称为专利文献5。)、日本特开2003-255105号公报(以下，称为专利文献6。)等中提出有包含在电介质膜的层叠体中含有银(Ag)的金属层的防反射膜。

在专利文献4中，公开了在透明基材上交替设置高折射率透明薄膜层和金属薄膜层而成的导电性防反射层。并且，在专利文献4中公开有可以在金属薄膜层的上下层，作为用于保护金属薄膜免受腐蚀的层而具备保护层的内容。作为保护层，可以举出锌、硅、镍、铬、金、铂……等金属、这些的合金、这些的金属氧化物、氟化物、硫化物及氮化物。

在专利文献5中公开有一种防反射膜，该防反射膜具备夹在前包覆层与后包覆层之间且通过保护氮化硅层而保护免受刮擦的薄金属层。而且，作为包覆层，可以举出镍、铬、铑、铂、钨、钼及钽、镍和铬的合金等。

在专利文献6中公开有一种防反射膜，该防反射膜在基材上层叠金属薄膜层与金属氧化物薄膜层而成，为了金属薄膜层的稳定化，在基板与金属薄膜层之间设置基底层，在金属薄膜层与金属氧化物薄膜层之间设置中间层。作为该基底层及中间层，可以举出硅、钛等金属薄膜层。

发明内容

发明要解决的技术课题

然而，作为金属薄膜层，若要形成以银作为主成分的层的情况下，如专利文献4～6的记载，若在金属薄膜层的上下层设置除了银以外的金属的层作为保护层或者包覆层等，则存在由基于其金属的着色引起的光学薄膜的透明性降低的问题。并且，如专利文献4，设置氧化物或氮化物的情况下，在其上以平坦的膜状形成极薄的例如如10nm以下的银膜是非常困难的。这是由于发生银的凝聚而成为粒状。如此，获得包含具有高透明性和高平坦性的超薄膜的银膜的光学薄膜非常难。

另外，具有通过薄膜化而提高透明性的将银作为主成分的层的光学薄膜并不限于用作如上述那样的防反射膜，并且还考虑适用于透明导电膜等中，且有很高的需求。

本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供一种具备平坦性高的金属薄膜层，并且透光率高的光学薄膜。并且，本发明的目的在于提供一种具备其光学薄膜的光学元件及光学系统。

用于解决技术课题的手段

本发明的一种光学薄膜，其设置在基材上，所述光学薄膜中，