[发明专利]光学仪器中的镜对准

权利要求书

1.一种用于精确控制光束的镜组件，其包括：

第一支架，其包含第一旋转轴线；

第一镜，其联接到所述第一支架，所述第一镜包含反射表面，所述反射表面具有几乎垂直于所述第一旋转轴线的平面的表面平面；和

光源，其被配置为将光束瞄准所述反射表面，其中所述第一支架的旋转将所述光束在目标表面上平移第一能控距离。

2.根据权利要求1所述的镜组件，其中：

所述能控距离由反射光束的倾斜量提供。

3.根据权利要求2所述的镜组件，其中：

所述反射光束的倾斜量包括大约0.001到大约5度的倾斜范围。

4.根据权利要求1所述的镜组件，其中：

所述反射表面基本上为平面的。

5.根据权利要求1所述的镜组件，其中：

所述能控距离包括所述光束在所述目标表面上沿X轴或Y轴的移动。

6.根据权利要求1所述的镜组件，其中：

所述能控距离包括所述光束在所述目标表面上从大约0.1mm到大约50mm的距离上移动，且所述目标表面距第一镜表面大约300mm的目标距离。

7.根据权利要求1所述的镜组件，其中：

所述第一支架的所述旋转包括大约1到大约20度的旋转。

8.根据权利要求1所述的镜组件，其中：

所述第一支架的所述旋转被限制为大约20度或更小旋转角度。

9.根据权利要求1所述的镜组件，其中：

所述第一支架的所述旋转被限制为大约5度或更小。

10.根据权利要求9所述的镜组件，其中：

大约5度或更小的所述支架的所述旋转使所述光束在所述目标表面上的所述移动的曲率误差最小化。

11.根据权利要求1所述的镜组件，其中：

所述光源包括在所述目标表面上产生光斑的激光。

12.根据权利要求1所述的镜组件，其中：

所述表面平面与垂直于所述旋转轴线的平面成大约1到大约4度。

13.根据权利要求1所述的镜组件，其中：

所述表面平面与垂直于所述旋转轴线的平面成小于一度。

14.根据权利要求1所述的镜组件，其中：

所述旋转轴线偏移所述第一镜的中心。

15.根据权利要求1所述的镜组件，其中：

所述旋转轴线与所述第一镜的中心同轴。

16.根据权利要求1所述的镜组件，其中：

所述支架联接到挠曲轴承。

17.根据权利要求16所述的镜组件，其中：

所述挠曲轴承包括一个或多个叶片挠曲件。

18.根据权利要求1所述的镜组件，其中：

所述支架联接到第一轴承和第二轴承。

19.根据权利要求18所述的镜组件，其中：

所述第一轴承和所述第二轴承包括彼此有大约4度的偏移角。

20.根据权利要求18所述的镜组件，其中：

所述第一轴承和所述第二轴承各自包括旋转控制系统。

21.根据权利要求20所述的镜组件，其中：

所述旋转控制系统包括手动螺杆、电动马达、步进马达或线性马达。