[发明专利]MEMS设备

权利要求书

1.一种MEMS设备，其中，具备：

压电膜；

第一电极以及第二电极，它们夹着该压电膜；

保护膜，其设置为覆盖所述第二电极的至少一部分，且具有将所述第二电极的一部分开口的开口部；

第三电极，其设置为至少在所述开口部与所述第二电极接触，且覆盖所述保护膜的至少一部分；以及

第一布线层，其具有与所述第三电极接触的第一接触部。

2.根据权利要求1所述的MEMS设备，其中，

还具备第二布线层，所述第二布线层具有与所述第一电极接触的第二接触部。

3.根据权利要求1或2所述的MEMS设备，其中，

还具备压电振动部，所述压电振动部具有所述压电膜、和夹着该压电膜的第一电极以及第二电极，

所述第三电极在比所述压电振动部的俯视面的区域靠近外侧的区域延伸，

所述第一布线层的所述第一接触部设置于所述外侧的区域。

4.根据权利要求3所述的MEMS设备，其中，还具备：

保持部，其设置于所述压电振动部的周围的至少一部分；以及

保持臂，其设置于所述压电振动部与所述保持部之间，所述保持臂的一端连接于所述压电振动部，所述保持臂的另一端连接于所述保持部，

所述第一布线层的所述第一接触部设置于所述保持部。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的MEMS设备，其中，

所述第一布线层的所述第一接触部配置为相对于所述第三电极与所述第二电极接触的所述开口部在俯视时偏置。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的MEMS设备，其中，

在所述第一布线层的所述第一接触部与所述压电膜之间至少设置有所述保护膜。

7.根据权利要求1～5中任一项所述的MEMS设备，其中，

在所述第一布线层的所述第一接触部与所述压电膜之间至少设置有所述保护膜和所述第二电极。

8.根据权利要求1～4中任一项所述的MEMS设备，其中，

所述第一布线层的所述第一接触部配置为与所述第三电极和所述第二电极接触的所述开口部在俯视时重叠。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的MEMS设备，其中，

所述第一电极、第二电极以及第三电极的至少一个电极以钼或者钨为主要成分。

10.根据权利要求1～9中任一项所述的MEMS设备，其中，

所述压电膜以结晶结构具有纤锌矿型六方晶结构的材质为主要成分。

11.根据权利要求1～10中任一项所述的MEMS设备，其中，

所述第三电极与所述第二电极相比形成得较厚。

12.根据权利要求1～11中任一项所述的MEMS设备，其中，

所述第一布线层以铝为主要成分。

13.根据权利要求1～11中任一项所述的MEMS设备，其中，

所述第一布线层与所述第三电极以不同的材质为主要成分。