[发明专利]切割装置以及切割方法有效

专利信息
申请号: 201880088934.1 申请日: 2018-11-09
公开(公告)号: CN111699545B 公开(公告)日: 2021-09-14
发明(设计)人: 福家朋来;清水翼;西山真生 申请(专利权)人: 株式会社东京精密
主分类号: H01L21/301 分类号: H01L21/301;B24B27/06;B24B49/12
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 刘文海
地址: 日本国*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 切割 装置 以及 方法
【权利要求书】:

1.一种切割装置,其在隔着切割带将工件保持于工作台的状态下,使通过主轴旋转的刀片与所述工作台相对移动来进行切割加工,其中,

所述切割装置具备:

切削痕检测部,其检测在所述切割带的未粘贴所述工件的表面区域形成的切削痕的切削痕信息;以及

控制部,其基于所述切削痕检测部检测到的所述切削痕信息来控制所述刀片的高度,以使向所述切割带切入的切入深度恒定,

所述切削痕信息包括与所述切削痕的切削进给方向上的长度相关的信息,所述切削痕在使所述刀片和所述工作台在沿着所述工件的分割预定线的所述切削进给方向上相对移动的情况下形成于所述切割带的表面区域,

所述切削痕检测部基于所述切削痕信息来计算所述切割带的表面区域中的切削痕形成率,

所述控制部基于所述切削痕检测部计算出的所述切削痕形成率来控制所述刀片的高度,以使所述切削痕形成率在恒定的范围内。

2.根据权利要求1所述的切割装置,其中,

所述切割装置具备配置于所述工作台的对置位置的拍摄装置,

所述切削痕检测部基于由所述拍摄装置拍摄的所述切割带的表面区域的图像数据来检测所述切削痕信息。

3.根据权利要求2所述的切割装置,其中,

所述拍摄装置由对准用照相机构成。

4.根据权利要求1所述的切割装置,其中,

所述切割装置具备配置于所述工作台的对置位置的距离测定装置,

所述切削痕检测部基于由所述距离测定装置测定的距离数据来检测所述切削痕信息,所述距离数据表示到所述切割带的表面区域为止的距离。

5.一种切割方法,其在隔着切割带将工件保持于工作台的状态下,使通过主轴旋转的刀片与所述工作台相对移动来进行切割加工,其中,

所述切割方法包括:

检测步骤,在该检测步骤中,检测在所述切割带的未粘贴所述工件的表面区域形成的切削痕的切削痕信息;以及

控制步骤,在该控制步骤中,基于在所述检测步骤中检测到的所述切削痕信息来控制所述刀片的高度,以使向所述切割带切入的切入深度恒定,

所述切削痕信息包括与所述切削痕的切削进给方向上的长度相关的信息,所述切削痕在使所述刀片与所述工作台在沿着所述工件的分割预定线的所述切削进给方向上相对移动的情况下形成于所述切割带的表面区域,

在所述检测步骤中,基于所述切削痕信息来计算所述切割带的表面区域中的切削痕形成率,

在所述控制步骤中,基于所述切削痕形成率来控制所述刀片的高度,以使所述切削痕形成率在恒定的范围内。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社东京精密,未经株式会社东京精密许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201880088934.1/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top