[发明专利]测量容器、测量系统及测量方法

说明书

用于液体的杂质离子测量的测量装置(1)具备：第1电极(4)；第1绝缘膜(6)，被形成在第1电极(4)上；第2绝缘膜(7)，与第1绝缘膜(6)隔开配置，以形成液体(9)被封入的空间；第2电极(5)，被形成有第2绝缘膜(7)，并被配置为面向第1电极(4)；以及密封件(8)，具有用于将液体(9)注入到空间中的注入口，被构成为密封空间。

技术领域

本发明涉及用于液体的杂质离子测量的测量容器、使用了它的测量系统及测量方法。

背景技术

在高纯度有机EL元件的制造工艺及有机半导体元件的制造工艺等中所使用的液体中，被要求不含杂质离子的高纯度的液体。这样的高纯度的液体，假定例如作为溶剂或溶液而被使用。

作为用于测量杂质离子的测量方法，例如，在美国专利申请公开第2012/0175604号说明书中，例如公开了使用飞行时间(TOF)的测量方法。

发明内容

在美国专利申请公开第2012/0175604号说明书中所公开的测量方法中，电荷被注入到仅被电极夹在当中的有机物质中，此时的瞬态电流使用TOF测量。此时，瞬态电流包含测量对象的有机物质的电子传导造成的电流、以及杂质离子的离子导电造成的电流。因此，在美国专利申请公开第2012/0175604号说明书中所公开的测量方法中，特别难以测量极微量的杂质离子。

本发明鉴于所述的情况而完成，目的在于提供用于即使是极微量的杂质离子也可以进行液体的杂质离子测量的测量容器、使用了它的测量系统及测量方法。

本发明的第1方式的测量容器是用于液体的杂质离子测量的测量容器，具备：第1电极；第1绝缘膜，被形成在所述第1电极上；第2绝缘膜，与所述第1绝缘膜隔开配置，以形成所述液体被封入的空间；第2电极，被形成有所述第2绝缘膜，并被配置为面向所述第1电极；以及密封件，具有用于将所述液体注入到所述空间中的注入口，并被构成为密封所述空间。

本发明的第2方式的测量系统具有：测量容器，是用于液体的杂质离子测量的测量容器，具备：第1电极；第1绝缘膜，被形成在所述第1电极上；第2绝缘膜，与所述第1绝缘膜隔开配置，以形成所述液体被封入的空间；第2电极，被形成有所述第2绝缘膜，并被配置为面向所述第1电极；以及密封件，具有用于将所述液体注入到所述空间中的注入口，并被构成为密封所述空间；电压信号发生器，在所述第1电极和所述第2电极之间施加三角波电压信号；以及检测电路，伴随所述三角波电压信号的施加，检测在所述液体中流动的电流信号。

本发明的第3方式的测量方法包括：在测量容器的空间中液体被封入的状态下，在第1电极和第2电极之间施加三角波电压信号，所述测量容器是用于所述液体的杂质离子测量的测量容器，包括：所述第1电极；第1绝缘膜，被形成在所述第1电极上；第2绝缘膜，与所述第1绝缘膜隔开配置，以形成所述液体被封入的空间；所述第2电极，被形成有所述第2绝缘膜，并被配置为面向所述第1电极；以及密封件，具有用于将所述液体注入到所述空间中的注入口，并被构成为密封所述空间；以及伴随所述三角波电压信号的施加，检测在所述液体中流动的电流信号。

附图说明

图1A是实施方式的测量容器的主视图。

图1B是被注入了测量对象的液体的状态的实施方式的测量容器的剖视图。

图2是表示用于使用了测量容器的液体的杂质离子测量的测量系统的结构的框图。

图3是表示测量装置的电路概要的图。

图4是表示了有关实施方式的测量系统的液体的杂质离子测量方法的流程图。

图5是表示分析的处理的流程图。

图6是用于说明分析的处理的图。

具体实施方式