[发明专利]颗粒物传感器

权利要求书

1.一种颗粒物传感器，包括：

壳体；

光电检测器，所述光电检测器位于所述壳体中；

颗粒过滤器，所述颗粒过滤器容纳在所述壳体内相对于所述光电检测器固定的位置上，所述颗粒过滤器设置成使含有颗粒的流体流过所述颗粒过滤器；以及

光源，所述光源位于所述壳体中，所述光源能够产生至少一部分入射到所述颗粒过滤器光，

其中，所述光电检测器能够根据与所述颗粒过滤器进行相互作用的光对所述颗粒过滤器的光学特性进行测量。

2.根据权利要求1所述的颗粒物传感器，其中所述颗粒过滤器无法向前移动。

3.根据权利要求1-2中任一项所述的颗粒物传感器，其中所述颗粒过滤器由CMOS兼容材料构成。

4.根据权利要求1-2中任一项所述的颗粒物传感器，其中所述颗粒过滤器由微孔二氧化硅构成。

5.根据权利要求1-2中任一项所述的颗粒物传感器，其中所述颗粒过滤器由微孔氮化硅构成。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的颗粒物传感器，包括位于所述壳体中的过滤器组件，所述过滤器组件包括过滤器壳体，所述过滤器壳体用于将所述颗粒过滤器保持在所述光电检测器的上方。

7.根据权利要求6所述的颗粒物传感器，其中所述颗粒过滤器是疏水性纤维过滤器或膜过滤器。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的颗粒物传感器，进一步包括：反射面，所述反射面位于所述壳体中，其中所述反射面被设置为反射由所述光源向所述颗粒过滤器发出的光。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的颗粒物传感器，进一步包括：第二光电检测器，所述第二光电检测器位于所述壳体的壁上，并且被设置为检测由所述颗粒过滤器之中或之上的颗粒所散射的光。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的颗粒物传感器，包括多个光电检测器，其相对于入射到所述颗粒过滤器的光和/或通过所述颗粒过滤器散射的光成不同角度设置。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的颗粒物传感器，其中所述光学特性为光传输特性、光吸收特性、光散射特性、光传输特性的变化率、光散射特性的变化率或光散射特性的变化率。

12.一种颗粒物传感器，包括：

颗粒过滤器，被布置为使含有颗粒的流体在第一方向中通过所述颗粒过滤器，所述颗粒过滤器布置在与所述第一方向垂直的平面中；

光源，所述光源与所述颗粒过滤器位于同一平面中，所述光源能够产生耦合到所述颗粒过滤器的侧边沿的光；以及

光电检测器，所述光电检测器与所述颗粒过滤器位于同一平面中，所述光电检测器能够在光穿过所述颗粒过滤器并在所述颗粒过滤器的侧边沿出现后对由所述光源所产生的光进行感测。

13.根据权利要求12所述的颗粒物传感器，包括多个光源，所述多个光源中的各所述光源与所述颗粒过滤器位于同一平面中，并且所述多个光源中的各所述光源能够产生分别具有不同波长的光，其中所述光耦合到所述侧边沿，所述光电检测器能够对所述多个光源中的各所述光源产生的光进行感测。

14.根据权利要求13所述的颗粒物传感器，所述多个光源是相互独立操作的。

15.根据权利要求12所述的颗粒物传感器，包括多个所述光电检测器，所述多个光电检测器中的每一所述光电检测器与所述颗粒过滤器位于同一平面中，并且所述多个光电检测器中的每一所述光电检测器能够在光穿过所述颗粒过滤器后对由所述光源所产生的光进行感测。

16.根据权利要求15所述的颗粒物传感器，其中所述光源是宽带光源。