[发明专利]气体管理系统

权利要求书

1.一种气体再循环系统，包括：

气体净化器系统，被配置为从准分子激光器接收排气混合物，所述排气混合物包括预期气体成分和杂质气体成分，所述气体净化器系统被配置为减少所述杂质气体成分中的至少一种杂质气体成分的量，以基于所述排气混合物来形成净化气体混合物；

气体分析系统，包括测量系统，所述测量系统被配置为接收所述净化气体混合物的至少一部分并且测量所述净化气体混合物中至少一种预期气体成分的量和所述净化气体混合物中至少一种杂质气体成分的量；

气体混合系统，基于所述净化气体混合物来制备再循环气体混合物；以及

控制系统，耦合到所述气体分析系统和所述气体混合系统，所述控制系统被配置为：

确定所述至少一种预期气体成分的被测量的量是否在第一可接受值范围内；

确定所述至少一种杂质气体成分的被测量的量是否在第二可接受值范围内；

如果所述至少一种预期气体成分的被测量的量不在所述第一可接受值范围内，则引起所述气体混合系统向所述净化气体混合物添加附加气体成分，以制备所述再循环气体混合物；以及

如果所述至少一种杂质气体的被测量的量不在所述第二可接受值范围内，则生成错误信号。

2.根据权利要求1所述的气体再循环系统，其中所述杂质气体成分包括水(H₂O)、二氧化碳(CO₂)、四氟甲烷(CF₄)和/或三氟化氮(NF₃)。

3.根据权利要求1所述的气体再循环系统，其中所述预期气体成分包括至少两种惰性气体，并且所述杂质气体成分包括不是惰性气体的任何气体。

4.根据权利要求1所述的气体再循环系统，其中如果所述至少一种杂质气体的被测量的量不在所述第二可接受值范围内则所述控制系统被配置为生成错误信号包括：所述控制系统被配置为生成如下的命令信号，当所述命令信号被提供给连接到预制备气体混合物和所述再循环气体混合物的流体控制开关时，所述命令信号引起所述流体控制开关将所述预制备气体混合物供应给激光器，而不将所述再循环气体混合物供应给所述激光器。

5.根据权利要求1所述的气体再循环系统，其中所述杂质气体成分中的每种杂质气体成分与相应可接受值范围相关联，并且所述控制系统被配置为确定每种杂质气体成分的被测量的量是否在针对该种杂质气体成分的所述可接受值范围内。

6.根据权利要求1所述的气体再循环系统，其中所述测量系统包括质谱仪、气相色谱仪或傅立叶变换红外(FTIR)光谱仪。

7.根据权利要求1所述的气体再循环系统，其中所述控制系统被配置为引起所述气体混合系统向所述净化气体混合物添加附加气体成分以制备所述再循环气体混合物包括：所述控制系统被配置为向所述净化气体混合物添加惰性气体。

8.根据权利要求7所述的气体再循环系统，其中在所述控制系统引起所述气体混合系统向所述净化气体混合物添加所述惰性气体之前，所述净化气体混合物包括所述惰性气体中的至少一些惰性气体。

9.一种气体再循环系统，包括：

气体混合系统，接收净化气体混合物并且基于所接收的净化气体混合物来制备再循环气体混合物；

气体分析系统，包括测量系统，所述测量系统被配置为：

测量在所述气体混合系统处接收的所述净化气体混合物中至少一种惰性气体的量，以及

测量所制备的所述再循环气体混合物中所述至少一种惰性气体的量；以及

控制系统，被配置为：

确定在所述气体混合系统处接收的所述净化气体混合物中所述至少一种惰性气体的被测量的量是否在可接受值范围内；

如果所述净化气体混合物中所述至少一种惰性气体的被测量的量不在所述可接受值范围内，则引起所述气体混合系统向所述净化气体混合物添加至少一种附加气体成分，以制备所述再循环气体混合物；以及

确定所制备的所述再循环气体混合物中所述至少一种惰性气体的被测量的量是否在所述可接受值范围内。