[发明专利]图案形成方法

说明书

本发明的课题在于，提供能够将图案的电阻保持得低并且将图案中的不连续部简便地去除的图案形成方法，该课题通过如下图案形成方法解决，图案形成方法至少包含：在基材(1)上印刷包含导电性材料的图案中间体的印刷工序、以及对图案中间体进行电解电镀处理的电镀工序，在印刷工序中印刷的图案中间体具有：在电镀工序中被通电的被电镀部、以及相对于该被电镀部不连续地设置且在电镀工序中不被通电的不连续部，在电镀工序中，使用至少含有金属种类相互不同的2种以上的金属盐和络合剂的电镀液来进行电场电镀处理，从而将图案中间体的不连续部去除，形成由被电镀被膜包覆的被电镀部构成的图案。

技术领域

本发明涉及图案形成方法，更详细而言，涉及能够将图案的电阻保持得低并且将图案中的不连续部简便地去除的图案形成方法。

背景技术

作为形成包含导电性材料的图案的方法，以往广泛使用光刻技术。但是，光刻技术的材料耗损多，工序复杂。因此，探讨了材料耗损少且工序简单的方法。例如有如下方式：通过喷墨法对基材赋予包含导电性材料的液滴，并形成细线图案。但是，在喷墨法中，在射出墨水时有时除了主液滴以外还飞溅雾状的液滴。飞溅的雾状的墨水在基材上形成不连续部(由在与期望的图案不同的位置孤立地被赋予的导电性材料构成的部位)，成为使得透明性劣化的重要原因。

另外，本申请人此前公开了如下技术：在基材上，通过包含导电性材料的线状液体，形成闭合的几何学图形，使所述线状液体干燥来使所述导电性材料沿着缘部沉积，从而形成由包含所述导电性材料的内侧细线和外侧细线构成的图案中间体，进而，去除所述图案中间体之中的所述内侧细线，从而通过未被去除而残留的细线形成图案(专利文献1)。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2017-39109号公报

发明内容

本发明所要解决的课题

在形成包含导电性材料的图案的方法中，在由于雾而形成的不连续部或由于描绘方法而形成的不连续部(例如专利文献1的内侧细线)在产品中无用的情况下，要求将其去除。但是，将图案的电阻保持得低并且将该不连续部简便地去除的技术尚未充分建立。

于是，本发明的课题在于，提供能够将图案的电阻保持得低并且将图案中的不连续部简便地去除的图案形成方法。

另外，本发明的其他课题通过以下的记载而明确。

用于解决课题的手段

上述课题通过以下的各发明被解决。

1.一种图案形成方法，

至少包含：印刷工序，在基材上印刷包含导电性材料的图案中间体；以及电镀工序，对所述图案中间体进行电解电镀处理，

在所述印刷工序中印刷的所述图案中间体具有：被电镀部，在所述电镀工序中被通电；以及不连续部，相对于该被电镀部不连续地设置，在所述电镀工序中不被通电，

在所述电镀工序中，使用至少含有金属种类相互不同的2种以上的金属盐和络合剂的电镀液进行电场电镀处理，从而去除所述图案中间体的所述不连续部，形成由被电镀被膜包覆的所述被电镀部构成的图案。

2.上述1所述的图案形成方法，

所述2种以上的金属盐至少包含：包含铜或者镍作为主金属的金属盐、以及包含标准电极电位相对于该主金属的差为1V以内的金属的金属盐。

3.上述2所述的图案形成方法，

所述2种以上的金属盐包含：包含铜作为主金属的金属盐、以及包含镍作为标准电极电位相对于该主金属的差为1V以内的金属的金属盐。

4.上述2所述的图案形成方法，