[发明专利]冷却系统有效
| 申请号： | 201880089601.0 | 申请日： | 2018-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN111699055B | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | W·T·拉尔森;J·G·斯泰德格 | 申请（专利权）人： | 首要金属科技美国有限责任公司 |
| 主分类号： | B21B45/02 | 分类号： | B21B45/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张婧晨;刘茜 |
| 地址： | 美国乔*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 冷却系统 | ||
1.一种冷却系统，所述冷却系统包括：
靶材料；
集气室或集管结构；以及
多个喷嘴结构，所述多个喷嘴结构联接到所述集气室或集管结构，所述集气室或集管结构提供来自每个喷嘴结构的均匀的流动流，其中，所述喷嘴结构中的每个包括锥形且成角度的喷嘴结构，其中，所述喷嘴结构远离所述靶材料的中心成角度以及沿所述靶材料的行进方向或远离所述行进方向成角度，以便通过以下来改善冷却均匀性：提供从所述喷嘴结构中的每个到所述靶材料的边缘的独立流体路径，从而减少来自相邻喷嘴结构的流体流的相互作用，其中，沿所述行进方向或远离所述行进方向的所述角度由在0.5和5度之间的靶材料的纵向角限定，其中，所述喷嘴结构包括在7.5度和18度之间的锥形角，并且其中，所述喷嘴结构包括在0.5度和5度之间的纵向角。
2.根据权利要求1所述的冷却系统，其中，所述锥形喷嘴结构包括联接到筒形部分的锥形部分。
3.根据权利要求1所述的冷却系统，其中，所述成角度的喷嘴结构以两个不同方向成角度。
4.根据权利要求3所述的冷却系统，其中，所述喷嘴结构被定位成远离所述靶材料的中心线。
5.一种用于执行冷却系统的操作的方法，所述方法包括：
提供靶材料；
提供集气室或集管结构；以及
定位多个喷嘴结构，所述多个喷嘴结构联接到所述集气室或集管结构，所述集气室或集管结构提供来自每个喷嘴结构的均匀的流动流，其中，所述喷嘴结构中的每个包括锥形且成角度的喷嘴结构，其中，所述喷嘴结构远离所述靶材料的中心成角度以及沿所述靶材料的行进方向或远离所述行进方向成角度，以便通过以下来改善冷却均匀性：提供从所述喷嘴结构中的每个到所述靶材料的边缘的独立流体路径，从而减少来自相邻喷嘴结构的流体流的相互作用，其中，沿所述行进方向或远离所述行进方向的所述角度由在0.5和5度之间的靶材料的纵向角限定，其中，所述喷嘴结构包括在7.5度和18度之间的锥形角，并且其中，所述喷嘴结构包括在0.5度和5度之间的纵向角。
6.根据权利要求5所述的方法，其中，所述锥形喷嘴结构包括联接到筒形部分的锥形部分。
7.根据权利要求5所述的方法，其中，所述成角度的喷嘴结构沿两个不同方向成角度。
8.根据权利要求7所述的方法，其中，所述喷嘴结构被定位成远离所述靶材料的中心线。
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