[发明专利]具有被配置用于不同光谱响应的传感器的红外传感器阵列

权利要求书

1.一种系统，该系统包括：

传感器阵列，该传感器阵列被配置为接收来自包括背景部分和气体的场景的红外辐射，所述传感器阵列包括：

第一组红外传感器，所述第一组红外传感器被配置为具有对应于与所述背景部分关联的所述红外辐射的第一波长范围的第一光谱响应；和

第二组红外传感器，所述第二组红外传感器被配置为具有对应于与所述气体关联的所述红外辐射的第二波长范围的第二光谱响应；以及

读出集成电路(ROIC)，该ROIC被配置为响应于所接收的红外辐射，分别提供由所述第一组红外传感器和所述第二组红外传感器捕获的第一图像和第二图像的像素值。

2.根据权利要求1所述的系统，其中：

所述红外传感器是微测辐射热计，每个微测辐射热计包括具有主吸收层的桥，该主吸收层被配置为响应于由所述桥接收的红外辐射而呈现电阻变化；并且

所述第二组红外传感器中的每一个还包括在所述桥中的附加吸收层，以将所述第二波长范围扩展为包括与所述气体关联的所述红外辐射。

3.根据权利要求2所述的系统，其中，所述附加吸收层以像素上材料(MOP)或像素下材料(MUP)布置相对于所述主吸收层被定位，其中，所述第一组红外传感器和所述第二组红外传感器分别包括具有不同的第一尺寸和第二尺寸的光学腔。

4.根据权利要求2所述的系统，其中，所述第一组红外传感器的所述桥相对于所述第二组红外传感器的所述桥具有减小的热质量，以平衡由所述第一组红外传感器和所述第二组红外传感器针对所述第一图像和所述第二图像提供给所述ROIC的信号。

5.根据权利要求4所述的系统，其中，所述微测热辐射计中的每一个还包括：

触点，所述触点与所述ROIC电连通；

支腿，所述支腿将所述触点与所述桥连接；并且

其中，所述第一组红外传感器的所述支腿相对于所述第二组红外传感器的所述支腿具有减小的长度，以平衡由所述第一组红外传感器和所述第二组红外传感器针对所述第一图像和所述第二图像提供给所述ROIC的信号。

6.根据权利要求1所述的系统，其中，所述第一组红外传感器和所述第二组红外传感器以交替的棋盘图案或交替的列图案布置。

7.根据权利要求1所述的系统，其中，所述第二波长范围与所述第一波长范围重叠。

8.根据权利要求1所述的系统，还包括滤波器，该滤波器插入于所述传感器阵列与所述场景之间，并且被配置为在所述红外辐射由所述传感器阵列接收之前去除所述红外辐射的第三波长范围，其中，所述第三波长范围与所述第一波长范围及所述第二波长范围重叠。

9.根据权利要求1所述的系统，其中，所述传感器阵列被配置为同时捕获所述第一图像和所述第二图像。

10.根据权利要求1所述的系统，还包括逻辑电路，该逻辑电路被配置为处理所述第一图像和所述第二图像，以识别所述气体。

11.一种方法，该方法包括：

在传感器阵列处接收来自包括背景部分和气体的场景的红外辐射；

由所述传感器阵列的第一组红外传感器捕获第一图像，所述第一组红外传感器被配置为具有对应于与所述背景部分关联的所述红外辐射的第一波长范围的第一光谱响应；

由所述传感器阵列的第二组红外传感器捕获第二图像，所述第二组红外传感器被配置为具有对应于与所述气体关联的所述红外辐射的第二波长范围的第二光谱响应；以及

通过读出集成电路(ROIC)提供所述第一图像和所述第二图像的像素值。