[发明专利]驱动装置在审
| 申请号： | 201880090738.8 | 申请日： | 2018-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN111801517A | 公开（公告）日： | 2020-10-20 |
| 发明（设计）人： | 古田匡智;小寺庆;渡边清 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | F16H49/00 | 分类号： | F16H49/00;F16H21/10;G01N27/62 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 驱动 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种驱动装置，其用于驱动设于真空室内的可动部，其特征在于，
该驱动装置包括：
可动侧磁体，其设于所述可动部；以及
驱动部，其设于所述真空室的外部，通过对所述可动侧磁体作用磁力而驱动所述可动部，
所述驱动部具有：
第1磁体，其作用吸引所述可动侧磁体的磁力；
第2磁体，其与所述第1磁体相邻地设置，作用排斥所述可动侧磁体的磁力；以及
移动机构，其使所述第1磁体和所述第2磁体一体地移动。
2.根据权利要求1所述的驱动装置，其特征在于，
所述第2磁体以所述第1磁体为中心而呈点对称配置。
3.根据权利要求1所述的驱动装置，其特征在于，
所述第2磁体以所述第1磁体为中心而呈圆环状配置。
4.根据权利要求1所述的驱动装置，其特征在于，
所述可动部能够沿着第1方向移动，
所述移动机构能够使所述第1磁体和所述第2磁体沿着所述第1方向一体地移动。
5.根据权利要求1所述的驱动装置，其特征在于，
所述可动部能够沿着第1方向和与该第1方向交叉的第2方向移动，
所述移动机构能够使所述第1磁体和所述第2磁体沿着所述第1方向和所述第2方向一体地移动。
6.根据权利要求1所述的驱动装置，其特征在于，
所述可动部连结于在所述真空室内设置的试样台。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社岛津制作所，未经株式会社岛津制作所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201880090738.8/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
