[发明专利]不透明石英玻璃及其制造方法

权利要求书

1.不透明石英玻璃，其特征在于，包含平均直径为2～30μm、形状为独立球状的气泡，密度为1.90～2.20g/cm³，白度为80以上，在厚度3mm时波长0.2～3μm的光的反射率为80％以上，

其中，白度为使用色彩色差计依据JIS Z 8722所测定的亮度。

2.权利要求1所述的不透明石英玻璃，其特征在于，弯曲强度为70MPa以上。

3.权利要求1或2所述的不透明石英玻璃，其特征在于，烧制完成面的表面粗糙度Ra为0.7μm以下。

4.权利要求1至3中任一项所述的不透明石英玻璃的制造方法，其是向二氧化硅粉末添加发泡剂而熔融的不透明石英玻璃的制造方法，其特征在于，在将二氧化硅粉末以45～75wt％分散于水中的浆料中使用平均直径0.1mm～3mm的氮化硅珠粒作为粉碎介质进行湿式粉碎，将利用氮化硅珠粒的磨损而产生的氮化硅粉末作为发泡剂进行熔融。

5.权利要求4所述的不透明石英玻璃的制造方法，其特征在于，调整二氧化硅粉末的粉碎时间，将发泡剂的添加量调节为0.1～100ppm，使用氮化硅珠粒以外的平均直径0.1～3mm的选自石英玻璃珠粒、氧化锆珠粒、碳化硅珠粒、氧化铝珠粒中的1种或多种珠粒进一步进行湿式粉碎，使浆料中含有的固体成分的BET比表面积成为2m²/g以上，对浆料进行喷雾干燥造粒而制成平均粒径为30～200μm、含水率为3wt％以下的基本上球状的造粒粉，进行熔融。

6.权利要求4所述的不透明石英玻璃的制造方法，其特征在于，将发泡剂相对于二氧化硅粉末的添加比率为200～10000ppm的浆料进行稀释，将发泡剂相对于二氧化硅粉末的添加比率调节为0.1～500ppm，加入氮化硅珠粒以外的平均直径0.1mm～3mm的粉碎用珠粒进行湿式粉碎，使浆料中含有的固体成分的BET比表面积成为2m²/g以上，对浆料进行喷雾干燥而造粒成基本上球形，使其平均粒径成为30～200μm、含水率成为3wt％以下，进行熔融。

7.权利要求5或6的任一项所述的不透明石英玻璃的制造方法，其特征在于，湿式粉碎的方法为珠磨机粉碎、球磨机粉碎、振动磨机粉碎、磨碎机粉碎的1种或2种以上的组合。

8.权利要求5、6、7中任一项所述的不透明石英玻璃的制造方法，其特征在于，利用氢氧焰将熔融原料熔融。

9.不透明石英玻璃，其特征在于，OH基浓度为100～1000ppm，由权利要求8所述的方法制造。

10.权利要求5、6、7中任一项所述的不透明石英玻璃的制造方法，其特征在于，在真空气氛下将熔融原料加热熔融。

11.不透明石英玻璃，其特征在于，OH基浓度为10ppm以下，由权利要求10所述的方法制造。