[发明专利]等离子体装置、等离子体生成方法

说明书

本公开的课题是能够高效地生成等离子体。在本公开的等离子体装置中，包括电介质屏障放电器和电弧放电器，在被供给用于生成等离子体的气体的放电空间内，在比电介质屏障放电器靠下游侧处设置电弧放电器。在电介质屏障放电器中发生电介质屏障放电，在电弧放电器中发生电弧放电。在电介质屏障放电中使用于生成等离子体的气体活性化，因此在电弧放电中能够使前述的气体良好地等离子体化。

技术领域

本公开涉及生成等离子体的等离子体装置、等离子体生成方法。

背景技术

专利文献1中记载了一种等离子体装置，其具备一对呈平板状的电极、设于一对电极之间且被供给处理气体的放电空间、将一对电极分别覆盖的电介质物。在该等离子体装置中，在一对电极之间产生放电，由此使供给至放电空间的处理气体等离子体化而生成等离子体。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第4833272号

发明内容

要解决的课题

本公开的课题是能够高效地生成等离子体。

用于解决课题的手段、作用及效果

本公开的等离子体装置包括电介质屏障放电器和电弧放电器，在被供给用于生成等离子体的气体的放电空间内，电弧放电器设于比电介质屏障放电器靠下游侧处。在电介质屏障放电器中发生电介质屏障放电，在电弧放电器中发生电弧放电。在电介质屏障放电中使用于生成等离子体的气体活性化，因此在电弧放电中能够使用于生成等离子体的气体良好地等离子体化。

需要说明的是，放电是指通过使一对电极之间的空间产生高电场而使在一对电极之间的空间内存在的气体发生绝缘破坏(气体的分子电离而电子、离子增加的状态)，从而电流在一对电极之间流动。其中，电介质屏障放电是指在向一对电极施加了交流电压的情况下发生的通过电介质物(不包括气体)的放电，电弧放电是指未通过电介质物的放电。在电介质屏障放电中，电荷积蓄于电介质物中，但是在极性反转的情况下，积蓄的电荷被放出，由此发生放电。并且，通过电介质物，在一对电极之间流动的电流被限制。因此，在电介质屏障放电中，不会达到电弧放电，不会给存在于放电空间的气体赋予较大的能量。并且，在向一对电极赋予高频率的交流电压的情况下，极性的反转速度变快，可能连续地发生放电。并且，在电弧放电中，没有对在一对电极之间流动的电流施加限制。因此，较大的电流在一对电极之间流动，向存在于空间的气体赋予较大的能量。

附图说明

图1是本公开的一实施方式的等离子体装置的立体图。在本等离子体装置中，实施本公开的一实施方式的等离子体生成方法。

图2是上述等离子体装置的一部分的截面图。

图3是上述等离子体装置的包括图2的一部分在内的部分的截面图。

图4是上述等离子体装置的构成部件即电介质包围部件的立体图，图4的(A)、图4的(B)、图4的(C)分别是电介质包围部件的从不同的角度观察的情况下的立体图。

图5是相对于上述等离子体装置能够拆装的喷嘴的截面图。

图6是概念性地表示上述等离子体装置的电源装置的周边的图。

图7是表示上述电源装置的开关电路的图。

图8是概念性地表示上述等离子体装置中的工作的图。

图9是表示上述等离子体装置的工作状态下的电压的图。

具体实施方式

以下，基于附图来说明本公开的等离子体装置。在本等离子体装置中，实施本公开的等离子体生成方法。本等离子体装置在大气压下产生等离子体。

实施例