[发明专利]用于测量超出衍射极限的双折射装置的光学剪切的方法和系统

权利要求书

1.一种用于测量双折射装置的剪切角的方法，包括：

将光束投射在所述双折射装置上；

在所述双折射装置后方分出两个正交偏振输出束(第一偏振束和第二偏振束)，所述两个正交偏振输出束以剪切角进入两个不同方向；

使用透镜系统使所述两个束聚焦；

在所述透镜系统后方、所述束被聚焦到的位置处放置光强度分布记录装置；

利用所述第一偏振束在所述光强度分布记录装置中记录第一帧；

使用定位分析确定所述第一帧中的光强度分布的第一中心位置；

利用所述第二偏振束在所述记录装置中记录第二帧；

使用定位分析确定所述第二帧中的光强度分布的第二中心位置；

计算所述第一中心位置与所述第二中心位置之间的间隔距离；

以及根据所述间隔距离和所述透镜系统的焦距计算所述剪切角。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，根据所述双折射装置的类型，所述两个正交偏振能够是两个正交线偏振或者是两个正交圆偏振。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述透镜系统能够是单透镜系统或组合的多透镜系统。

4.一种用于测量双折射装置的剪切角的第一系统，包括：

输出光束的光照射模块；

偏振控制单元；

所述双折射装置；

透镜模块；

以及放置在光束被聚焦的位置处的数据获取模块。

5.根据权利要求4所述的系统，其中，所述偏振控制单元用于控制输入光束的偏振，使得来自所述照射模块的输出光束的偏振能够在两个正交偏振之间切换。

6.根据权利要求5所述的偏振控制单元，在所述光束非偏振的情况下所述偏振控制单元能够是偏振器，或者，所述偏振控制单元能够是半波片、或半波片与四分之一波片的组合，或者是其他偏振单元。

7.根据权利要求5所述的偏振控制单元，其中，根据所述双折射棱镜的类型，所述两个正交偏振能够是两个正交线偏振或者是两个正交圆偏振。

8.根据权利要求4所述的系统，其中，所述透镜系统能够是单透镜系统或组合的多透镜系统。

9.根据权利要求5所述的系统，其中，所述数据获取模块能够是CCD相机或CMOS相机。

10.一种用于测量双折射装置的剪切角的第二系统，包括：

输出光束的光照射模块；

所述双折射装置；

透镜模块；

可切换偏振滤光器；

以及放置在光束被聚焦的位置处的数据获取模块。

11.根据权利要求10所述的系统，其中，所述可切换偏振滤光器用于选择穿过所述滤光器的两个正交偏振光分量中的一个。

12.根据权利要求10所述的系统，其中，根据两个正交偏振的类型，所述可切换偏振滤光器能够是线偏振器或圆偏振滤光器。

13.根据权利要求10所述的系统，其中，根据所述双折射棱镜的类型，所述两个正交偏振能够是两个正交线偏振或者是两个正交圆偏振。

14.根据权利要求10所述的系统，其中，所述透镜系统能够是单透镜系统或组合的多透镜系统。

15.根据权利要求10所述的系统，其中，所述数据获取模块能够是CCD相机或CMOS相机。