[发明专利]压力传感器有效
申请号: | 201880092041.4 | 申请日: | 2018-11-07 |
公开(公告)号: | CN111936835B | 公开(公告)日: | 2023-06-06 |
发明(设计)人: | 高月修;笠原龙则;保坂优太;金原太郎 | 申请(专利权)人: | 株式会社不二工机 |
主分类号: | G01L19/06 | 分类号: | G01L19/06;G01L19/14 |
代理公司: | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人: | 徐颖聪 |
地址: | 日本国东京都世*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压力传感器 | ||
提供一种为了抑制由静电噪声等产生的影响而具备有简单的结构的导电部件,能实现小型化并降低成本的压力传感器。压力传感器(1)具有:承受流体压力的隔膜(50);基座(40),在该基座与所述隔膜(50)之间形成封入有绝缘性介质的承压空间(52);在所述承压空间(52)内配置于所述基座(40)的压力检测装置(60),检测向所述绝缘性介质传递的压力,并将该压力转换为电压力信号;用于在所述压力检测装置(60)与外部的电路之间进行电连接的多个端子销(70、72);具有与所述压力检测装置(60)的表面相对地配置的导电板(151)和支承所述导电板(151)的脚部(152)的导电部件(150),至少所述导电板(151)与所述端子销中的任一个电连接。
技术领域
本发明涉及一种压力传感器。
背景技术
使用具备有压力检测装置的压力传感器来配备在制冷冷藏装置、空调装置以检测制冷剂压力,或者配备在工业用设备用机器以检测各种流体压力。在这样的压力检测装置的一种类型中,传感器芯片配置在由隔膜划分并且封入有油的承压室内,由此,压力传感器具备将承压空间内的压力变化转换为电压力信号并输出到外部的功能。
然而,在这种类型的压力检测装置中,有由于某种原因而带有静电的担忧。
对此,在下述的专利文献公开了如下的内容:在封入有油的承压空间中,尤其是在传感器芯片和隔膜之间配置有导电性部件,并且使该导电性部件与传感器芯片内的电路的零电位连接来实现除电。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本专利第3987386号说明书
发明所要解决的技术问题
在此,根据专利文献1的以往技术,由金属制的下板和金属部件形成圆筒状的空间,并在该空间的内部配置传感器芯片,或使金属部件与油填充用管、支承环或环状的金属部件的上端接合。然而,当以这样的方式接合金属部件时,制造工时增加并且成本上升。另外,由于需要有设置支承环、环状的金属部件的空间,因此会导致压力传感器的大型化。
发明内容
本发明的目的在于提供一种压力传感器,具备以简单结构来抑制因静电噪音等产生的影响的导电部件,能够实现小型化并且降低成本。
用于解决技术问题的技术手段
为了达成上述目的,本发明的压力传感器具有:
隔膜,该隔膜承受流体压力;
基座,在该基座与所述隔膜之间形成封入有绝缘性介质的承压空间;
压力检测装置,该压力检测装置在所述承压空间内配置于所述基座,检测向所述绝缘性介质传递的压力,并将该压力转换为电压力信号;
多个端子销,该多个端子销用于在所述压力检测装置与外部的电路之间进行电连接;以及
导电部件,该导电部件具有与所述压力检测装置的表面相对地配置的导电板和支承所述导电板的脚部,
至少所述导电板与所述端子销中的任一个电连接。
发明的效果
根据本发明,能够提供一种压力传感器,该压力传感器具备以简单结构来抑制因静电噪音等产生的影响的导电部件,能够实现小型化并且降低成本。
附图说明
图1是表示本发明的第一实施方式所涉及的压力传感器的纵剖视图。
图2是沿A-A线剖切图1的压力传感器并从箭头方向观察的横剖视图。
图3是沿B-B线剖切图2的压力传感器,表示压力检测单元及其附近的纵剖视图。
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