[发明专利]测距单元及光照射装置有效
申请号: | 201880092060.7 | 申请日: | 2018-12-21 |
公开(公告)号: | CN111936817B | 公开(公告)日: | 2023-07-18 |
发明(设计)人: | 奥间惇治 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦;黄浩 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 测距 单元 照射 装置 | ||
1.一种测距单元,其中,
具备:
将作为激光的测距光输出的测距光源;
使所述测距光及由对象物的被测量面反射的所述测距光的反射光透过的对物透镜;
使所述反射光透过并将由所述对物透镜产生的所述测距光或所述反射光的聚光位置中的像在成像位置成像的成像透镜;
调整所述反射光的光路的光路调整部;及
检测所述反射光的光检测部,
所述对物透镜,在所述测距光的光路从所述对物透镜的中心轴分离的状态下,将所述测距光朝所述对象物侧透过,
所述光路调整部,以使在与入射至所述光检测部的所述反射光的入射方向垂直的至少一方向被成像的所述反射光的所述成像位置,接近与所述入射方向交叉的规定面的方式,对所述反射光的所述光路进行调整,
所述光检测部的受光面,以沿着所述规定面的方式定位。
2.如权利要求1所述的测距单元,其中,
所述光路调整部,在所述成像透镜及所述光检测部之间调整所述反射光的所述光路。
3.如权利要求2所述的测距单元,其中,
所述光路调整部,是具有沿着与所述受光面平行且与所述一方向垂直的方向延伸的多个沟槽的反射型光栅。
4.如权利要求3所述的测距单元,其中,
所述光检测部,具有沿着与所述一方向平行的方向排列的多个光检测通道。
5.如权利要求3所述的测距单元,其中,
所述对物透镜及所述成像透镜,以从所述成像透镜射出的所述反射光的光路的方向成为一定的方式构成。
6.如权利要求4所述的测距单元,其中,
所述对物透镜及所述成像透镜,以从所述成像透镜射出的所述反射光的光路的方向成为一定的方式构成。
7.如权利要求3至6项中任一项所述的测距单元,其中,
所述受光面中的所述反射光的像,呈以与所述一方向垂直的方向作为长度方向的长条状。
8.一种光照射装置,其中,
具备:
将对象物支撑的支撑部;
将照射光输出的照射光源;
将作为激光的测距光输出的测距光源;
使所述照射光及所述测距光的一方透过且将所述照射光及所述测距光的另一方反射的光学元件;
将所述照射光、所述测距光和由所述对象物的被测量面反射的所述测距光的反射光透过的对物透镜;
使所述反射光透过并将由所述对物透镜产生的所述测距光或所述反射光的聚光位置中的像在成像位置成像的成像透镜;
调整所述反射光的光路的光路调整部;
检测所述反射光的光检测部;
将所述对物透镜沿着其中心轴移动的驱动部;及
根据从所述光检测部输出的电气信号对所述驱动部进行驱动的控制部,
所述对物透镜,在所述测距光的光路与所述对物透镜的所述中心轴分离的状态下,将所述测距光朝所述对象物侧透过,
所述光路调整部,以使在与入射至所述光检测部的所述反射光的入射方向垂直的至少一方向被成像的所述反射光的所述成像位置,接近与所述入射方向交叉的规定面的方式,对所述反射光的所述光路进行调整,
所述光检测部的受光面,以沿着所述规定面的方式定位。
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