[发明专利]用于沉积蒸发的源材料的蒸发源、屏蔽蒸发的源材料的方法和用于蒸发源的屏蔽装置

说明书

本文描述的实施方式涉及一种用于蒸发源(20)的屏蔽装置(200)。蒸发源(20)被配置成引导蒸发的源材料通过一个或多个出口(22)。屏蔽装置(200)包括一个或多个可移动屏蔽装置部分(205)，所述可移动屏蔽装置部分被配置成根据来自一个或多个出口(22)的蒸发的源材料的羽流(342)的发射角度来阻挡蒸发的源材料并且被配置成通过移动进行替换。披露了一种包括一个或多个屏蔽带(210)的屏蔽装置。还披露了一种蒸发源和一种屏蔽的方法。

技术领域

本公开内容总体上涉及用于沉积蒸发的源材料的蒸发源，并且具体而言涉及用于蒸发源的屏蔽装置和屏蔽蒸发的源材料的方法。更具体而言，本公开内容涉及用于有机材料的蒸发的蒸发源和涉及在用于制造装置(特别是其中包括有机材料的装置)的沉积系统中使用的屏蔽装置。

背景技术

有机蒸发器是用于生产有机发光二极管(organic light-emitting diode；OLED)的工具。OLED是一种特殊类型的发光二极管，其中发射层包括某些有机化合物的薄膜。有机发光二极管(OLED)用于制造电视屏幕、计算机监视器、移动电话和其他用于显示信息的手持装置。OLED也可用于一般空间照明。此外，OLED可制造在柔性基板上的事实产生进一步的应用。例如，OLED显示器可包括位于两个电极之间的有机材料层，所述有机材料层均以形成具有单独可激发像素(energizable pixel)的矩阵显示面板的方式全部沉积在基板上。OLED通常放置在两个玻璃面板之间，并且密封玻璃面板的边缘以将OLED封装在其中。

在这种显示装置的制造中遇到许多挑战。OLED显示器或OLED照明应用包括多种有机材料的堆叠，这些有机材料例如在真空中蒸发。有机材料以随后的方式通过掩模沉积。为了高效地制造OLED堆叠，两种或更多种材料(例如，主体和掺杂剂)的共沉积或共蒸发导致混合/掺杂层是有益的。此外，必须考虑到存在多种用于蒸发非常敏感的有机材料的工艺条件。

为了将材料沉积在基板上，加热材料直至材料蒸发。分配管将蒸发的材料通过出口引导至基板。近年来，已经提高了沉积工艺的精确性，例如允许能够提供小像素尺寸。在一些工艺中，掩模用于在蒸发的材料通过掩模开口时界定像素。沉积材料的不精确可能会导致像素填充不均匀。这可能对制品的性质以及沉积工艺产生负面影响。

鉴于上述，改善制造工艺的精确性是有益的。

发明内容

鉴于上述，提供一种用于蒸发源的屏蔽装置。蒸发源被配置成引导蒸发的源材料通过一个或多个出口。屏蔽装置包括一个或多个可移动屏蔽装置部分，所述可移动屏蔽装置部分被配置成根据来自一个或多个出口的蒸发的源材料的羽流(plume)的发射角度来阻挡蒸发的源材料并且被配置成通过移动进行替换。

根据本公开内容的一方面，提供一种用于蒸发源的屏蔽装置。蒸发源被配置成引导蒸发的源材料通过一个或多个出口。屏蔽装置包括：可移动屏蔽带(movable shieldingbelt)，所述可移动屏蔽带提供一个或多个可移动屏蔽装置部分，所述可移动屏蔽装置部分被配置成根据蒸发的源材料的羽流的发射角度来阻挡蒸发的源材料；用于带的展开供应装置(unwinding supply device)；和用于带的卷取装置(take-up device)。

根据本公开内容的一方面，提供一种在基板上沉积蒸发的源材料的蒸发源。根据本文描述的实施方式，蒸发源包括屏蔽装置。

根据本公开内容的一方面，提供一种屏蔽从蒸发源释放的蒸发的源材料的方法。蒸发源包括一个或多个出口。所述方法包括：在沉积期间，根据蒸发的源材料的羽流的发射角度，移动与一个或多个出口相邻的第一可移动屏蔽装置部分以阻挡蒸发的源材料；和用第二可移动屏蔽装置部分替换第一可移动屏蔽装置部分。

附图说明

因此，为了可详细理解本公开内容的上述特征，可参照实施方式获得上文简要概述的本公开内容的更具体描述。附图涉及本公开内容的实施方式，并在下文进行描述：