[发明专利]荧光X射线分析装置以及荧光X射线分析方法

说明书

利用旋转驱动装置使支承部和准直器绕旋转轴相对地旋转。准直器具有屏蔽X射线的屏蔽区域和使X射线透过的透过区域。透过区域具有位于旋转轴上的顶点，透过区域的周向上的长度从顶点朝向外部成比例地增加。利用X射线源使X射线通过准直器的透过区域地向由支承部支承的试样照射，利用检测器检测来自试样的荧光X射线。基于由检测器检测到的荧光X射线来进行试样的组成的分析。

技术领域

本发明涉及一种通过荧光X射线来进行试样的分析的荧光X射线分析装置以及荧光X射线分析方法。

背景技术

在荧光X射线分析装置中，通过从X射线源向试样照射X射线来激发试样，从试样放出荧光X射线。从试样放出的荧光X射线的每单位时间的光子数(以下简称为光子数。)由检测器检测。检测器输出表示被检测出的光子数的检测信号。基于由检测器输出的检测信号来进行试样中含有的元素的分析。

检测信号不饱和就能够检测的光子数存在限制。因此，即使在使由X射线源射出的X射线的强度(剂量)最小的情况下，检测信号有时也会饱和。为了防止这种情况，在X射线源与试样之间配置被称为准直器的构件。准直器是具有开口部的板状构件，通过屏蔽从X射线源射出的X射线的一部分来使向试样照射的X射线衰减。

另一方面，在专利文献1中记载了一种X射线减少系统，该X射线减少系统不是在使用荧光X射线的分析技术领域中使用，而是在医疗领域中使用。在该X射线减少系统中，X射线源被配置在使X射线透过的床的下方，准直器被配置在床的上方，在准直器的上方配置图像增强器。准直器具有圆板形状，在准直器的中央形成圆形孔径。患者躺在床上，操作者在患者的旁边。

响应操作者的操作而从X射线源向上方的患者照射X射线。照射到患者的X射线的一部分通过准直器的圆形孔径而到达图像增强器。基于到达图像增强器的X射线来生成在关注区域具有高图像质量的图像。另外，X射线的另一部分被准直器的除圆形孔径以外的部分屏蔽，由此减少对在患者的周围的操作者的辐射。

专利文献1：日本特表2016-501656号公报

发明内容

发明要解决的问题

与此相对地，在使用了荧光X射线的分析技术领域中，如果向试样照射的X射线的强度在空间上不均匀，则无法准确地分析试样整体的组成。特别是在对含有不均匀地分布的元素的试样进行分析时，该问题更加明显。因此，要求使向试样照射的X射线在空间上均匀地衰减。

本发明的目的在于提供一种能够使向试样照射的X射线在空间上均匀地衰减的荧光X射线分析装置以及荧光X射线分析方法。

用于解决问题的方案

(1)本发明的一个方面所涉及的荧光X射线分析装置具备：支承部，其用于支承作为分析对象的试样；准直器，其具有屏蔽X射线的屏蔽区域和使X射线透过的透过区域；X射线源，其使X射线通过准直器的透过区域地向由支承部支承的试样照射；旋转驱动装置，其使支承部和准直器绕旋转轴相对地旋转；检测器，其检测来自由支承部支承的试样的荧光X射线；以及分析执行部，其基于由检测器检测到的荧光X射线来进行试样的组成的分析，其中，透过区域具有位于旋转轴上的顶点，透过区域的周向上的长度从顶点朝向外部成比例地增加。

在该荧光X射线分析装置中，利用旋转驱动装置使支承部和准直器绕旋转轴相对地旋转。利用X射线源使X射线通过准直器的透过区域地向由支承部支承的试样照射，利用检测器检测来自试样的荧光X射线。基于由检测器检测到的荧光X射线来进行试样的组成的分析。