[发明专利]真空泵及其冷却部件

说明书

为了提供一种能够与设置真空泵的现场的冷却配管布局对应而进行相对于冷却部件的冷却配管的连接作业、使用方便性良好的真空泵以及冷却部件，冷却部件（8）具备：多个端口对（81），由第一以及第二端口（81A、81B）构成；冷却介质的流路（82），与多个端口对的各端口连通；设定机构（83），设定多个端口对的使用形态，多个端口对沿外装框体的周向方向设置，设定机构为，在多个端口对之中，关于被选择的一个端口对，设定为能够使用其第一端口从外部向流路内进行冷却介质的供给、能够使用其第二端口从流路内向外部进行冷却介质的排出，并且，关于在此之外的端口对，设定为不能使用其第一端口从外部向流路内进行冷却介质的供给、不能使用其第二端口从流路内向外部进行冷却介质的排出。

技术领域

本发明涉及一种真空泵，被用作半导体制造处理装置、平板显示器制造装置、太阳能面板制造装置中的处理腔室、其他的真空腔室的气体排气机构，特别地为适于正确地判断泵维护的必要性的真空泵。

背景技术

以往，作为这种真空泵，公知有例如专利文献1所述的真空泵。该真空泵（以下称为“以往的真空泵”）为以下构造：在由外筒（127）、基座部（129）等构成的外装框体的内侧收纳有旋转体（103），借助该旋转体（103）的旋转对气体进行吸气和排气。

此外，在以往的真空泵中，相对于构成外装框体的基座部（129）设置作为冷却部件的水冷管（149），从而进行真空泵的冷却。

但是，若基于以往的真空泵，则水冷管（149）被埋设于基座部（129），相对于水冷管（149）供给冷却水或从水冷管（149）将冷却水排出的冷却水供给/排出用端口被固定在既定的位置。为此，在将真空泵设置于既定的现场的状态中，存在该冷却水供给/排出用端口的位置与现场的冷却配管布局不对应的情况，在该情况下，存在如下的问题点：在现场的相对于冷却水供给/排出用端口的冷却配管的连接作业变得困难等，不能够与现场的冷却配管布局对应而迅速地进行相对于真空泵的冷却部件的冷却配管的连接作业，使用方便性较差。

在以上的说明中，括号内的附图标记是在专利文献1中使用的附图标记。

专利文献1: WO2012/053270

日本特开2017-194040号公报。

发明内容

本发明是为了解决前述问题点而提出的，其目的在于提供一种使用方便性良好的真空泵及其冷却部件，能够与设置真空泵的现场的冷却配管布局对应而迅速地进行相对于真空泵的冷却部件的冷却配管的连接作业。

为了达成前述目的，本发明是一种借助旋转体的旋转而对气体进行吸气和排气的真空泵，其特征在于，具有收纳前述旋转体的外装框体、被配置于前述外装框体的外周的冷却部件，前述冷却部件具备：由第一以及第二端口构成的多个端口对、与前述多个端口对的前述各端口连通的冷却介质的流路、以及设定前述多个端口对的使用形态的设定机构，前述多个端口对沿前述外装框体的周向方向设置，前述设定机构为，在前述多个端口对中，关于被选择的一个端口对，设定为能够使用其前述第一端口从外部向前述流路内进行冷却介质的供给、能够使用其前述第二端口从前述流路内向外部进行冷却介质的排出，并且，关于在此之外的端口对，设定为不能使用其前述第一端口从外部向前述流路内进行冷却介质的供给、不能使用其第二端口从前述流路内向外部进行冷却介质的排出。

此外，本发明是一种被配置于真空泵的外装框体外周的真空泵的冷却部件，其特征在于，具备由第一以及第二端口构成的多个端口对、与前述多个端口对的各端口连通的冷却介质的流路、以及设定前述多个端口对的使用形态的设定机构，前述多个端口对沿前述外装框体的周向方向设置，前述设定机构为，在前述多个端口对中，关于被选择的一个端口对，设定为能够使用其前述第一端口从外部向前述流路内进行冷却介质的供给、能够使用其前述第二端口从前述流路内向外部进行冷却介质的排出，并且，关于在此之外的端口对，设定为不能使用其前述第一端口从外部向前述流路内进行冷却介质的供给、不能使用其第二端口从前述流路内向外部进行冷却介质的排出。