[发明专利]活性气体生成装置

权利要求书

1.一种活性气体生成装置，生成使供给至放电空间(15)的原料气体(6)活化而得到的活性气体(7)，其特征在于，具备：

第一电极构成部(1、1A、1B)；以及

第二电极构成部(2、2A、2B)，设置在上述第一电极构成部的下方，

上述第一电极构成部具有第一电介质电极(11、11A、11B)以及形成在上述第一电介质电极的上表面上的第一金属电极(10、10A、10H、10L)，上述第二电极构成部具有第二电介质电极(21、21A、21B)以及形成在上述第二电介质电极的下表面上的第二金属电极(20、20A、20H、20L)，上述第一金属电极与上述第二金属电极之间被施加交流电压，在上述第一电介质电极与上述第二电介质电极对置的电介质空间内，作为上述放电空间而包括在俯视时上述第一金属电极与上述第二金属电极重叠的区域，

上述第二电介质电极具有用于将上述活性气体向外部喷出的至少一个气体喷出孔(9、9A、9B)，从上述放电空间到上述至少一个气体喷出孔的路径被规定为活性气体流通路径，

上述活性气体生成装置还具备孔板部(40)，该孔板部(40)设置于上述第二电介质电极本身或者上述第二电介质电极的下方，并具有与上述至少一个气体喷出孔对应的至少一个贯通孔(49)，

上述第一电极构成部还具有辅助导电膜(12、12A、12B)，该辅助导电膜(12、12A、12B)与上述第一金属电极相独立地形成在上述第一电介质电极的上表面上，

上述辅助导电膜被设置为在俯视时与上述活性气体流通路径的一部分重叠，上述辅助导电膜被设定为接地电位，且上述辅助导电膜从上述第一金属电极隔开规定距离地配置，

上述辅助导电膜还被设置为在俯视时与上述至少一个贯通孔重叠。

2.如权利要求1所述的活性气体生成装置，其中，

上述孔板部的构成材料包括陶瓷、玻璃以及蓝宝石中的至少一种。

3.如权利要求1或2所述的活性气体生成装置，其中，

上述原料气体是包括氢气、氮气、氧气、氟气、氯气中的至少一种的气体。