[发明专利]光测距装置以及加工装置

说明书

将光测距装置(3)构成为如下：设置光干涉部(21)和偏振波旋转部(25)，光干涉部将反射光分离为第一偏振波的反射光和第二偏振波的反射光，从第一偏振波的反射光与参考光的干涉光抽取相互正交的第一及第二分量，从第二偏振波的反射光与参考光的干涉光抽取相互正交的第三及第四分量，偏振波旋转部通过使具有第一及第二分量的第一复信号的偏振波角度和具有第三及第四分量的第二复信号的偏振波角度旋转，取得偏振波的水平分量及垂直分量中的一个以上的分量，距离计算部(27)根据由偏振波旋转部(25)取得的分量计算反射光的频率与参考光的频率的差分，根据差分计算直至测定对象物(1)为止的距离。

技术领域

本发明涉及计算直至测定对象物为止的距离的光测距装置和具备光测距装置的加工装置。

背景技术

在以下的专利文献1中，公开了一种能够对搜索对象的3维形状进行检测的异物检测装置。

以下的专利文献1所公开的异物检测装置具备：光输出单元，输出激光；以及扫描单元，使用激光对搜索对象的搜索范围进行扫描。

另外，异物检测装置具备：偏振波分离单元，使将激光照射到搜索对象时的来自搜索对象的散射光按每个偏振波分量分离；以及第一及第二受光单元，接收散射光的各个偏振波分量。

另外，异物检测装置具备第一及第二相位差检测单元，该第一及第二相位差检测单元检测激光与散射光中的各个偏振波分量之间的相位差，并且检测散射光中的各个偏振波分量的接收强度。

而且，异物检测装置具备信号处理单元，该信号处理单元根据检测结果来计算散射光的偏振波消除率(depolarization rate)，并且根据偏振波消除率的计算结果来计算与异物之间的相隔距离，输出异物的形状。

因而，不论返回光的偏振波分量如何，异物检测装置都能够检测异物的3维形状。

现有技术文献

专利文献1：日本特开2011-185837号公报

发明内容

专利文献1所公开的异物检测装置在照射激光时，在光的偏振波面旋转的情况下，被搜索对象散射的散射光的各个偏振波分量的接收强度有时会下降。

异物检测装置在散射光的各个偏振波分量的接收强度下降时，具有直至搜索对象为止的距离的测定精度变差这样的课题。

本发明是为了解决如上所述的课题而完成的，其目的在于得到一种即使在光的偏振波面旋转的情况下也能够测定直至测定对象物为止的距离的光测距装置以及加工装置。

本发明的光测距装置具备：光输出部，将频率伴随时间的经过而变化的频率扫描光作为参考光来输出，并且对频率扫描光的偏振波进行复用，输出相互正交的第一以及第二偏振波的频率扫描光；光收发部，向测定对象物照射第一以及第二偏振波的频率扫描光，将被测定对象物反射的频率扫描光作为反射光来接收；光干涉部，将反射光分离为第一偏振波的反射光和第二偏振波的反射光，从第一偏振波的反射光与参考光的干涉光抽取相互正交的第一以及第二分量，从第二偏振波的反射光与参考光的干涉光抽取相互正交的第三以及第四分量；偏振波旋转部，通过使具有第一以及第二分量的第一复信号的偏振波角度和具有第三以及第四分量的第二复信号的偏振波角度旋转，取得偏振波的水平分量以及垂直分量之中的一个以上的分量；以及距离计算部，根据由偏振波旋转部取得的分量，计算反射光的频率与参考光的频率的差分，并根据差分计算直至测定对象物为止的距离。