[发明专利]硬质被膜和硬质被膜被覆构件

权利要求书

1.硬质被膜(30；40；50；60；70；80)，其是以被覆母材(12)的表面的方式附着于该表面的硬质被膜(30；40；50；60；70；80)，其特征在于，

所述硬质被膜(30；40；50；60；70；80)以将两种单一组成层(32、34；32、52)和纳米层交替层(36；54)共三种层交替地层叠而总膜厚(Ttotal)成为0.5～20μm的范围内的方式构成，该两种单一组成层由A组成、B组成和C组成中的任两种组成构成，该纳米层交替层将由所述A组成、所述B组成和所述C组成中的任两种组成构成的两种纳米层(32n、34n；32n、52n)交替地层叠而成，

所述A组成是组成式为Al_aCr_bα_c的氮化物，其中a、b、c分别以原子比计为0.30≤a≤0.85、0.15≤b≤0.70、0≤c≤0.10且a+b+c＝1，任意添加成分α为选自B、C、V、Y、Zr、Nb、Mo、Hf、Ta和W中的一种以上的元素，

所述B组成是组成式为Al_dCr_eSi_fβ_g的氮化物，其中d、e、f、g分别以原子比计为0.20≤d≤0.85、0.10≤e≤0.50、0.03≤f≤0.45、0≤g≤0.10且d+e+f+g＝1，任意添加成分β为选自B、C、V、Y、Zr、Nb、Mo、Hf、Ta和W中的一种以上的元素，

所述C组成是组成式为Al_hCr_i(SiC)_jγ_k的氮化物，其中h、i、j、k分别以原子比计为0.20≤h≤0.85、0.10≤i≤0.50、0.03≤j≤0.45、0≤k≤0.10且h+i+j+k＝1，任意添加成分γ为选自B、C、Ti、V、Y、Zr、Nb、Mo、Hf、Ta和W中的一种以上的元素，

所述两种单一组成层(32、34；32、52)的膜厚(T1、T2)均在0.5～1000nm的范围内，

构成所述纳米层交替层(36；54)的所述两种纳米层(32n、34n；32n、52n)的各膜厚均在0.5～500nm的范围内，所述纳米层交替层(36；54)的膜厚(T3)在1～1000nm的范围内。

2.权利要求1所述的硬质被膜(30；40；50；60；70；80)，其特征在于，所述两种单一组成层(32、34；32、52)的各膜厚T1、T2与所述纳米层交替层(36；54)的膜厚T3的比T1/T3、T2/T3均在0.2～10的范围内。

3.权利要求1或2所述的硬质被膜(70)，其特征在于，交替地层叠的所述两种单一组成层(32、34)和所述纳米层交替层(36)的最下部的层直接设于所述母材(12)的表面。

4.权利要求1或2所述的硬质被膜(30；40；50；60；80)，其特征在于，所述硬质被膜(30；40；50；60；80)在其与所述母材(12)之间具备界面层(82)，

所述界面层(82)由以下共三种层中的任一种层构成：由所述A组成、所述B组成和所述C组成中的任一种组成构成的单一组成层；将由所述A组成、所述B组成和所述C组成中的任两种组成构成、且各自膜厚在0.5～500nm的范围内的两种纳米层交替地层叠而成的纳米层交替层；和包含B、Al、Ti、Y、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr和W中的一种以上的元素的金属的氮化物、碳氮化物或碳化物的层；

所述界面层的膜厚在10～1000nm的范围内。

5.权利要求1或2所述的硬质被膜(80)，其特征在于，所述硬质被膜(80)在最表面具有表面层(82)，

所述表面层(82)由单一组成层或纳米层交替层构成，该单一组成层由所述A组成、所述B组成和所述C组成中的任一种组成构成，该纳米层交替层将由所述A组成、所述B组成和所述C组成中的任两种组成构成、且各自膜厚在0.5～500nm的范围内的两种纳米层交替地层叠而成，

所述表面层(82)的膜厚在5～1000nm的范围内。